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FS4000系列氣體流量傳感器是廣州海倫儀器儀表有限公司采用世界*的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感器技術和智能電子控制技術，專為普通氣體流量監(jiān)測開發(fā)的產品。該傳感器能直接測量氣體質量流量，低壓損。適用于凈化空氣或氮氣流量監(jiān)控，還可用于環(huán)境采樣器（如色譜分析儀器等）
FS4003流量傳感器，管道內徑為3mm，成本低測量范圍zui大到5SLPM；適用于粒子計數器和各類分析儀器。
FS4008流量傳感器，管道內徑為8mm，測量范圍zui大到50SLPM；可用于麻醉設備、潔凈氣體檢測，如：空氣采樣機，氣體分析儀等
FS4008-40-08-BV-A高精度氣體流量傳感器（MF4008）
產品特點:
- 專為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測量而設計
- 支持多種連接方式，易于安裝與使用
- 傳感芯片采用熱質量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了傳感器的高精度計量
- 在單個芯片上實現了多傳感器集成，使其量程比達到了100:1甚至更高
- 輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數據或由上位機查詢輸出數據，也可通過模擬接口輸出 線性的模擬電壓
- 零點穩(wěn)定度高
- 全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復性
- 低功耗、低壓損
- 響應速度快
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