氣體質(zhì)量流量計(jì)是怎樣測(cè)量流量的

來(lái)源：青島芯笙微納電子科技有限公司 2022年07月20日 13:50

　　氣體質(zhì)量流量計(jì)傳感器插入在相對(duì)大的流場(chǎng)中，在無(wú)氣體流動(dòng)時(shí)，傳感器的熱源對(duì)環(huán)境無(wú)影響，不會(huì)因此引起氣體對(duì)流而導(dǎo)致零點(diǎn)變化。所以，氣體流量計(jì)具有很短的響應(yīng)時(shí)間和優(yōu)良的零點(diǎn)穩(wěn)定性。氣體流量計(jì)可測(cè)量空氣/氧氣/氮?dú)?氬氣/二氧化碳?xì)獾惹鍧崥怏w的流量，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子、化工、醫(yī)藥、食品等產(chǎn)品制造過(guò)程中氣體流量的檢測(cè)及控制，醫(yī)院氧氣消耗量計(jì)量、實(shí)驗(yàn)室氣體流量的檢測(cè)等，氣體流量計(jì)口徑較小至1mm，螺紋連接氣體流量計(jì)的儀表特點(diǎn)：測(cè)量管內(nèi)無(wú)阻流件，壓力損失為零，不易堵塞。

　　只要合理選用電極及襯里材料，氣體流量計(jì)即可達(dá)到耐腐蝕、耐磨損的要求。氣體流量計(jì)測(cè)量結(jié)果與液體的壓力、溫度、密度、粘度、電導(dǎo)率（不小于較低電導(dǎo)率）等物理參數(shù)基本無(wú)關(guān)，氣體質(zhì)量流量計(jì)不受環(huán)境影響，所以測(cè)量精度高、工作穩(wěn)定、可靠。氣體流量計(jì)采用現(xiàn)代模擬信號(hào)轉(zhuǎn)換技術(shù)和高性能超大規(guī)模集成芯片，對(duì)信號(hào)進(jìn)行隔離、濾波、放大及數(shù)字處理。氣體流量計(jì)準(zhǔn)確顯示測(cè)量結(jié)果。

　　不同于傳統(tǒng)的熱傳感器方式采用了多個(gè)熱傳感器和多個(gè)熱源來(lái)測(cè)量氣體的質(zhì)量流量（風(fēng)速式熱質(zhì)量流量原理），氣體質(zhì)量流量計(jì)采用了多個(gè)熱傳感器和一個(gè)微熱源（量熱式熱質(zhì)量流量原理），大大減少了環(huán)境對(duì)測(cè)量的影響。氣體流量計(jì)的熱源十分微小，幾乎不需要時(shí)間進(jìn)行加熱。

　　氣體質(zhì)量流量計(jì)采用熱質(zhì)量氣體流量傳感芯片，屬于質(zhì)量流量傳感方式的小流量計(jì)，它是通過(guò)氣體流動(dòng)產(chǎn)生的熱場(chǎng)變化來(lái)測(cè)量氣體流量，由于不同質(zhì)量的氣體對(duì)熱場(chǎng)的變化具有不同的影響，所以氣體流量計(jì)所測(cè)的數(shù)據(jù)為質(zhì)量流量。

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