Advanced Energy Impac IGA5高溫計用于 0°C 至 1500°C 藍寶石和藍寶石晶圓溫度測量，專為對藍寶石和藍寶石晶圓進行非接觸溫度測量而設(shè)計?？梢赃h(yuǎn)程配置溫度子范圍并調(diào)整參數(shù)。配備模擬輸出和數(shù)字接口，可以在計算機上存儲溫度值和數(shù)據(jù)。可針對不同應(yīng)用提供不同的光學(xué)部件。

特點：

采用輸出數(shù)字線性化，精度高

模擬輸出 0 或 4 至 20 mA

數(shù)字接口 RS232

激光瞄準(zhǔn)光

可調(diào)曝光時間

緊湊型設(shè)計

技術(shù)參數(shù)：

?

溫度范圍：0°C 至 1500°C

可在溫度范圍內(nèi)調(diào)節(jié)至任意量程，最小量程為 51°C

光譜范圍：8 至 9.7 µm

測量不確定性：

讀數(shù)的 0.6% °C 或 3°C（Tamb.= 15°C 至 30°C）

讀數(shù)的 1% °C 或 5°C（Tamb.= 0°C 至 5°C 或 30°C 至 63°C）

（ε = 1，t90 = 1 S，Tamb. = 常量）

取較大值；儀器必須在恒定環(huán)境溫度下保持至少 60 分鐘，且需要連接到電源

可重復(fù)性：讀數(shù)的 0.3% °C 或 0.6°C（ε = 1 時，t90= 1 s）

取較大值。儀器必須在恒定環(huán)境溫度下保持至少 30 分鐘。

曝光時間 t90：0.18 s；可在高溫計中調(diào)節(jié)：0.5 s、1 s、2 s、5 s，可通過接口調(diào)節(jié)：0.5 s、1 s、2 s、5 s、10 s、30 s

防護等級：IP65 (DIN 40050)

環(huán)境溫度：0°C 至 63°C

存放溫度：-20°C 至 70°C 

相對濕度：無冷凝條件

重量：約 0.41 千克

外殼：不銹鋼

通過 CE 認(rèn)證：符合歐盟關(guān)于電磁抗擾度的指令

電源：24 V DC（18 至 30 V Dc）公稱，紋波必須小于 0.5 V

功耗：最大 70 mA 

負(fù)載： 24 V 時最大 500 ?（18 V 時最大 200 ?）

隔離：電源、模擬輸出和數(shù)字接口相互電隔離

高溫計的測量誤差主要來源于：

①中間媒質(zhì)（如大氣等）的選擇吸收作用，使達到接受器的輻射能量中紅外部分損失較多；

②沒有按規(guī)定的熱源到高溫計的距離進行測量（通常每種輻射高溫計對于被觀測面面積的直徑與高溫計透鏡間的距離都規(guī)定了比值）；

③各種高溫計中接受器的選擇吸收特性不同，致使光譜發(fā)射率偏離選取值；④熱電堆冷熱端溫度的改變、儀表的誤差等。

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