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sem掃描電鏡的成像原理不同于光學(xué)顯微鏡和透射電子顯微鏡。它以電子束為照明源，將非常精細聚焦的電子束以光柵掃描的方式照射到樣品上，并通過電子與樣品相互作用。然后將產(chǎn)生的二次電子、背散射電子等收集并處理，以獲得微觀形貌的放大圖像。
為了獲得清晰的sem掃描電鏡照片，必須能夠執(zhí)行基本的電子顯微鏡操作并優(yōu)化各種樣品的工作條件?；静僮靼ㄊ炀氄{(diào)整焦距和散光。對焦相對容易，改變焦距直到圖像最清晰的那一刻。散焦較多時可使用較高的感光度，對焦點附近可降低感光度以進行精確對焦。
在基本操作中消除散光是比較麻煩的，尤其是散光較大的時候，很多初學(xué)者都很難調(diào)整。然而，散光的產(chǎn)生之前已經(jīng)介紹過了。由于電子束不再是圓形的，如果不消除散光，圖像就不清楚。然而，在光學(xué)中有兩個特殊位置，子午線和矢狀線，其中光束點*正交，清晰的圓圈一般在矢狀和子午線的中間。
所以反映在圖像中，當(dāng)改變焦距時，會出現(xiàn)兩個嚴(yán)重的拉伸，而且拉伸方向可能因樣品而異，但這兩個拉伸方向必須是正交的。因此，此時將焦距調(diào)整到兩個拉伸狀態(tài)的中間位置，焦距基本固定。然后在這個焦距，調(diào)整散光線圈，先調(diào)整X或Y的一個維度，等圖像清晰后再調(diào)整另一個維度。
拉伸方向不難判斷。樣品中的各種特征點都可以作為判斷的依據(jù)，比如孔洞或顆粒，或者樣品的邊緣，都可以很容易地判斷出來。特別是在散光比較大的情況下，焦距和散光這兩個維度不能亂調(diào)整，以免散光過大而*無法判斷。
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