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紫外臭氧清洗儀是一種簡單，經(jīng)濟(jì)，快速高效的材料表面清洗設(shè)備，采用長壽命U、石英低壓汞蒸汽格柵燈，樣品臺(tái)高度可調(diào)并可選加熱控溫，以便達(dá)到清洗效果。能快速去除大多數(shù)無機(jī)基材（比如石英，硅片，金，鎳，鋁，砷化鎵，氧化鋁等）上的有機(jī)污染物。
工作原理：
通過產(chǎn)生185nm和254nm高強(qiáng)度UV光分解有機(jī)分子（污染物）。185nm的光可以將氧分子O2轉(zhuǎn)變成活性的O3臭氧分子。254nm的光同時(shí)激發(fā)表面的有機(jī)分子，使其更容易被臭氧分子吸收并分解。由于臭氧分子存在時(shí)間短并且同時(shí)也被254nm光分解，樣品臺(tái)可以調(diào)節(jié)樣品到燈管的距離來優(yōu)化性能。PSD和PSDP分解有機(jī)污染物，然后形成CO2和H2O蒸氣，同時(shí)也將臭氧分子轉(zhuǎn)變成氧分子。
紫外臭氧清洗儀特點(diǎn)
1、UVO基礎(chǔ)型采用可編程數(shù)字控制器，設(shè)置操作簡單方便，四鍵操作控制。UVOP和UVOT系列采用5寸彩色觸摸屏設(shè)置顯示計(jì)時(shí)時(shí)間及加熱溫度。
2、自動(dòng)補(bǔ)償功能，自動(dòng)恒定光強(qiáng)光密度，不會(huì)因?yàn)榈蛪汗療衾匣鈴?qiáng)衰減影響清洗效果。
3、數(shù)字倒計(jì)時(shí)顯示清洗時(shí)間，1-999分鐘之間可自行設(shè)置清洗時(shí)間。
4、可隨時(shí)手動(dòng)中斷處理過程。
5、自動(dòng)記錄之前清洗參數(shù)設(shè)置。
6、樣品臺(tái)可控溫（可選），控溫范圍RT-260℃，控溫精度0.1℃。
7、頂置下壓式鉸鏈開關(guān)蓋方式，操作簡單方便。
8、上置式樣品臺(tái)設(shè)計(jì)，360度自由放置樣品，操作方便。
9、樣品臺(tái)高度可調(diào)，通過調(diào)節(jié)燈與樣品之間的間距，可以合理定位樣品高度和位置，并可鎖定。
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