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CPPT-DA型大理石氣浮隔振平臺(tái) 產(chǎn)品說明

來源:山東創(chuàng)譜光學(xué)儀器有限公司   2022年08月11日 15:48  

大多數(shù)光學(xué)實(shí)驗(yàn)或工業(yè)生產(chǎn)都對(duì)系統(tǒng)穩(wěn)定性有較高的要求。各種因素造成的振動(dòng)會(huì)導(dǎo)致儀器測(cè)量結(jié)果的不穩(wěn)定性和不準(zhǔn)確性,嚴(yán)重干擾生產(chǎn)和實(shí)驗(yàn)的進(jìn)行,振動(dòng)來源主要分為來自系統(tǒng)之外的振動(dòng)和系統(tǒng)內(nèi)部的振動(dòng),地面固有振動(dòng),工作人員踩踏地板以及開、關(guān)門或墻壁碰撞等通過地面?zhèn)鱽淼恼駝?dòng)均屬系統(tǒng)之外的振動(dòng),這一類振動(dòng)需通過光學(xué)平臺(tái)的隔振支架衰減;而來自系統(tǒng)內(nèi)部的振動(dòng)包括儀器振動(dòng)、氣流、冷卻水流等,則需依靠光學(xué)平臺(tái)的桌面阻尼來隔絕。

 隨著光學(xué)加工設(shè)備和測(cè)量?jī)x器精度的不斷提高, 其對(duì)工作環(huán)境的振動(dòng)隔離提出了更加嚴(yán)苛的要求。例如,離子激光器泵浦噴流染料激光器時(shí),激光器的振動(dòng)要求達(dá)到了微米級(jí);由于可見光波長(zhǎng)約為0.5微米,即使振動(dòng)在次微米級(jí)別時(shí),以光的干涉為基礎(chǔ)的實(shí)驗(yàn)(如全息攝影) 也將無法進(jìn)行; LμmArray 公司的并行激光直寫設(shè)備的直寫頭振動(dòng)線位移不能超過15nm ;超精密機(jī)械加工的表面粗糙度要求已經(jīng)達(dá)到 0.1nm  ;高精度掃面探針顯微鏡的雙向分辨率都已達(dá)到亞納米級(jí)。因此,對(duì)光學(xué)加工設(shè)備及光學(xué)測(cè)量?jī)x器進(jìn)行有效的隔振是保證科研生產(chǎn)活動(dòng)正常進(jìn)行的必要條件。

同時(shí),對(duì)于大型精密光學(xué)儀器來說,其除了有近乎嚴(yán)苛的隔振要求外,儀器本身往往還具有較大的體積和質(zhì)量,這對(duì)作為隔振基礎(chǔ)的光學(xué)隔振平臺(tái)的承載能力和工作空間也提出了更進(jìn)一步的要求。因此,隔振性能好、承載能力強(qiáng)、工作空間大的大型或超大型精密光學(xué)隔振平臺(tái)具有了較大的市場(chǎng)需求。

創(chuàng)譜儀器自主研發(fā)生產(chǎn)的光學(xué)隔振平臺(tái)廣泛的應(yīng)用于精密科研光學(xué)試驗(yàn)、加工及測(cè)量中,是您理想的選擇。

◆臺(tái)面采用雙零級(jí)大理石,表面精度高,平面度高,穩(wěn)定性好

◆創(chuàng)譜大理石氣浮隔振平臺(tái)隔振基礎(chǔ)同樣采用精密囊式空氣彈簧隔離、減振液和高阻尼小孔,隔振性能良好

◆輕松調(diào)節(jié),穩(wěn)定可靠結(jié)構(gòu)十分緊湊

◆自動(dòng)水平,自動(dòng)充氣,全部氣動(dòng)執(zhí)行元件,采用原裝德國(guó)FESTO產(chǎn)品

◆*空氣機(jī)氣源,噪聲低(小于65分貝)

技術(shù)參數(shù)

◆水平方式:自動(dòng)充氣,自動(dòng)平衡

◆表面粗糙度:<0.08μm

◆固有頻率:垂直1.2Hz-1.8Hz,水平1.2Hz-1.8Hz

◆振幅:≤1.2μm

◆重復(fù)定位精度:±0.05mm

應(yīng)用

◆精密測(cè)量?jī)x器 ◆醫(yī)療設(shè)備 ◆包裝機(jī)械 ◆精密電子元器件裝配 ◆光譜測(cè)量與校準(zhǔn) ◆激光干涉 ◆光電儀器研發(fā)與測(cè)試 ◆精密機(jī)械制造

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