這是一種零件清潔度測定的新方法。其基本原理是根據(jù)被檢測的表面與污染物顆粒具有不同的光吸收或散射率。其測試方法是，將一定數(shù)量的零件在一定的條件下清洗，將清洗液通過的濾膜充分過濾，污物被收集在濾膜表面，然后將濾膜干燥，用顯微鏡(設備是具有拍攝功能的圖像識別和分析設備)在光照射下檢測，按顆粒尺寸和數(shù)量統(tǒng)計污物顆粒，即可得到所測物體零件的固體顆粒污染物結果。這是一種適合精密清洗定量化的清潔度檢測方法，尤其使用于檢測微小顆粒和帶色雜質顆粒。但是如果濾膜是白色的，那么對白色污物和氣泡的識別就有可能引起誤判。
 

　　顆粒尺寸數(shù)量法極限值：對特定規(guī)格的零件，規(guī)定一定樣品數(shù)量、檢查頻率、清洗介質、清洗參數(shù)和操作過程的情況下，將顆粒按尺寸大小統(tǒng)計，每個尺寸范圍分別規(guī)定準許的大顆粒數(shù)量，只要有某一項超標，則測試結論為不合格。