氣浮隔振平臺(tái)由精密氣浮隔振支架、阻尼隔振墊、空氣壓縮機(jī)、光學(xué)面板組成，整體高度800mm，由臺(tái)面和支架組成。對(duì)于氣浮隔振平臺(tái)，除了具備剛性阻尼隔振平臺(tái)特點(diǎn)之外，還有有優(yōu)異的隔振性能，更加穩(wěn)定的隔振效果，更加精準(zhǔn)的高度控制。

產(chǎn)品信息

當(dāng)外界振動(dòng)源或者負(fù)載發(fā)生變化時(shí)，為了保持良好的隔振效果，通常可以通過(guò)改變空氣壓力和改變空氣彈簧的行程來(lái)實(shí)現(xiàn)；改變空氣壓力通過(guò)氣浮支架的油水分離器來(lái)實(shí)現(xiàn)，改變空氣彈簧行程通過(guò)氣浮支架的高度調(diào)節(jié)螺桿來(lái)實(shí)現(xiàn)。

創(chuàng)譜儀器精密氣浮隔振平臺(tái)根據(jù)臺(tái)面的不同，分為鐵磁不銹鋼臺(tái)面氣浮隔振平臺(tái)和大理石精密氣浮隔振平臺(tái)。

技術(shù)參數(shù)

◆臺(tái)面整體采用三層夾心結(jié)構(gòu)，上臺(tái)面為410鐵磁不銹鋼，中心為蜂窩/井字鋼支撐結(jié)構(gòu)，底板為碳鋼，在保證隔振性能得同時(shí)，提高了剛性、穩(wěn)定性，臺(tái)面精磨

◆氣浮支架采用囊式空氣彈簧，每個(gè)支撐腿配備由單獨(dú)氣室，采用整體焊接四支撐結(jié)構(gòu)，下方為阻尼隔振墊，隔振性能好

◆氣浮支架底部帶有高度調(diào)節(jié)功能，可以解決地面不平引起的支架扭曲、變形等情況

◆采用原裝德國(guó)FESTO空氣伺服系統(tǒng), 自動(dòng)調(diào)整水平,臺(tái)面的高度由空氣調(diào)節(jié)閥在桌面運(yùn)動(dòng)的激勵(lì)下維持和控制，把系統(tǒng)對(duì)微振的響應(yīng)反饋到系統(tǒng)中, 改變隔振特性,當(dāng)負(fù)載沿工作表面移動(dòng)或發(fā)生突然變化時(shí)能夠使臺(tái)面自動(dòng)維持水平.瞬間達(dá)到初始的平衡狀態(tài),提高光學(xué)隔振平臺(tái)的隔振效果

◆標(biāo)配*空氣壓縮機(jī)，工作壓力為0.35～0.6Mpa，標(biāo)準(zhǔn)配置調(diào)壓過(guò)濾閥將保證空氣彈簧的長(zhǎng)期有效工作

◆水平方式：自動(dòng)充氣，自動(dòng)平衡

◆隔振方式：囊式空氣彈簧

◆平面度：≤0.03mm/600mm×600mm

◆固有頻率：垂直1.2Hz-1.8Hz，水平1.2Hz-1.8Hz

◆振幅：≤1.2μm

◆重復(fù)定位精度：±0.05mm

◆臺(tái)面厚度：100/200/300mm

產(chǎn)品應(yīng)用

◆顯微鏡系統(tǒng) ◆激光測(cè)試 ◆光學(xué)制造 ◆光電儀器研發(fā)與測(cè)試 ◆生物醫(yī)療 ◆精密機(jī)械制造 ◆精密化工和無(wú)損檢測(cè) ◆激光干涉 ◆全息曝光 ◆集成電子電路 ◆拉曼光譜實(shí)驗(yàn) ◆精密檢測(cè)校準(zhǔn) ◆對(duì)振動(dòng)要求較高的儀器設(shè)備

規(guī)格參數(shù)

參數(shù)選型