橢偏儀的基本原理和測量特點

來源：武漢重光科技有限公司 2022年08月22日 18:23

　　橢偏儀是一種用于探測薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的光學(xué)測量儀器。由于測量精度高，適用于超薄膜，與樣品非接觸，對樣品沒有破壞且不需要真空，使得橢偏儀成為一種JI具吸引力的測量儀器。

　　基本原理：

　　橢偏儀利用偏振光測量薄膜或界面參量，通過測量被測樣品反射(或透射)光線偏振狀態(tài)的變化來獲得樣品參量。

　　橢偏儀的應(yīng)用：

　　由于測量精度高，適用于超薄膜，與樣品非接觸，對樣品沒有破壞且不需要真空，使得橢偏儀成為一種JI具吸引力的測量儀器。橢偏儀/橢圓偏振儀現(xiàn)在已被廣泛應(yīng)用于材料、物理、化學(xué)、生物、醫(yī)藥等領(lǐng)域的研究、開發(fā)和制造過程中。

　　可測材料：半導(dǎo)體、介電材料、有機高分子聚合物、金屬氧化物、多層膜物質(zhì)和石墨烯等等。

　　橢偏法測量具有如下特點：

　　1.能測量很薄的膜（1nm），且精度很高，比干涉法高1-2個數(shù)量級。

　　2.是一種無損測量，不必特別制備樣品，也不損壞樣品，比其它精密方法：如稱重法、定量化學(xué)分析法簡便。

　　3.可同時測量膜的厚度、折射率以及吸收系數(shù)。因此可以作為分析工具使用。

　　4.對一些表面結(jié)構(gòu)、表面過程和表面反應(yīng)相當(dāng)敏感。是研究表面物理的一種方法。

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