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原子力顯微鏡是一種具有原子分辨率的表面形貌、電磁性能分析的重要儀器。
當使用原子力顯微鏡對樣品成像時，*端與樣品接觸，樣品沿x-y網(wǎng)格進行光柵掃描。常見的是，在掃描過程中使用電子反饋回路來保持探針樣品力常數(shù)。該反饋回路以懸臂偏轉(zhuǎn)為輸入，其輸出控制探針支架和樣品支架之間沿z軸的距離。只要*端與樣品保持接觸，并且樣品在x-y平面上掃描，樣品的高度變化將改變懸臂的偏轉(zhuǎn)。然后，反饋調(diào)節(jié)探頭支架的高度，使偏轉(zhuǎn)恢復(fù)到用戶定義的值(設(shè)定點)。適當調(diào)整的反饋回路在掃描運動期間連續(xù)調(diào)整支架-樣品分離，使得偏轉(zhuǎn)保持近似恒定。在這種情況下，反饋輸出等于樣品表面形貌，誤差很小。
西努提供的Park XE15原子力顯微鏡提供的流程如下：
1.記錄用戶定義的多個掃描位置
2.在第一個掃描位置成像
3.提升懸臂
4.將電動樣品臺移至下一個用戶定義坐標
5.探針接近
6.重復(fù)掃描
記錄多個掃描位置十分簡單，您可以輸入樣品-樣品臺坐標或使用兩個參考點校正樣品位置。該自動化功能大大減少您在掃描過程中需要的工作，極大提高了生產(chǎn)力。
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