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材料-制造-封裝 | 安捷倫推出全半導體產業(yè)鏈解決方案

來源:安捷倫科技(中國)有限公司   2022年09月01日 15:39  
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半導體是現(xiàn)代電子產品的核心,應用于從智能手機到汽車等眾多領域。隨著半導體行業(yè)的發(fā)展,各種器件變得更小、更快、更可靠、更強大。為解決高昂的成本問題,半導體制造過程中的產品良率是半導體廠商關注的問題。影響產品良率的因素有很多,污染無疑是其中的重要因素之一。業(yè)內人士估計,污染造成約  50%  的產量損失。


從上世紀 70 年代到今天,芯片制程已經從“微米”時代,經過“納米”時代,發(fā)展到當前的 10 納米以下。隨著元件縮小到單個納米尺度,污染物和雜質的控制變得越來越重要,因為即使是超痕量污染物也會降低制造產量,導致產品可靠性下降或產品故障。半導體和電子產品中的雜質分析必須貫穿整個制造過程的各個階段,從測試晶片、原材料和工藝化學品到終產品的質量保證 / 質量控制。另外,在半導體全產業(yè)鏈的裝置制造、傳感器制造、控制器件制造過程等先進制造環(huán)節(jié),真空的控制也至關重要。


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自 20 世紀 80 年代后期以來,安捷倫一直與領先于行業(yè)的半導體制造商和化學品供應商密切合作,開發(fā)適用于半導體產業(yè)鏈的分析和監(jiān)測技術,應對半導體行業(yè)的分析挑戰(zhàn),并始終處于創(chuàng)新前沿。作為全球半導體領域的先鋒,安捷倫積累了大量創(chuàng)新技術和卓越的服務能力。在半導體產業(yè)鏈的制程監(jiān)測、原材料質控、無機雜質、納米顆粒、有機雜質檢測、符合環(huán)境健康和安全法規(guī)需求以及真空檢漏等方面,都能夠為您提供優(yōu)異的分析儀器、軟件、服務和支持,助力您取得成功。



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ICP-MS 作為一種金屬元素分析儀器應用于半導體產業(yè)鏈,始于 20 世紀 80 年代。隨著半導體制程的不斷迭代,整個行業(yè)對 ICP-MS 的性能提出了越來越高的要求。過去 30 年來,位于日本東京的安捷倫 ICP-MS 全球研發(fā)中心與半導體產業(yè)鏈端客戶密切合作,引領著 ICP-MS 在全球半導體產業(yè)鏈中的應用不斷創(chuàng)新。

監(jiān)測清洗和蝕刻硅片過程中使用的化學品中的痕量污染物

監(jiān)測晶圓 /IC 制造過程中使用的化學品中的污染物

評估硅片襯底及用于硅的相關層和涂層中的金屬污染

化學品以及晶圓加工和清潔浴槽中的金屬納米顆粒 (NP) 分析

半導體供應鏈中電子化學品 / 特氣中的金屬污染物

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晶圓表面有機污染物分析

高純化學品及純水中有機雜質分析

清洗劑 / 剝離液 / 電鍍液雜質分析

化學品中有機物成分分析 / 配方剖析,如光刻膠、CMP Slurry 配方分析

過濾器等半導體工藝部件的污染物控制

半導體超凈室內的揮發(fā)性有機污染物分析

按照法規(guī)要求(例如 RoHS、REACH 等)測定電子電氣中的有害有機物

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CPU、RAM 等終端設備中鍍膜硅片透射 / 散射 / 反射等光學性能測試

晶圓涂層表面的光學性能表征,評估涂層均勻性等性能

借助光學性能測試結果,確定并克服涂層工藝中潛在的變異性

使用配備固體自動進樣器的 Agilent Cary 7000 全能型分光光度計 (UMS) 對涂層晶圓的光學性能進行分析

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服務于半導體市場以及其上游供應商的整個產業(yè)鏈。提供真空泵(油泵、干泵)、檢漏儀、真空計、真空管路配件、閥門等產品,適用范圍包括 :

半導體制造、封裝設備、檢測設備

晶體生長、外延設備

高純氣體管路檢測及安全性保障

傳感器氣密性檢漏

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