涂層厚度儀的測量原理及分類

材料表面保護和裝飾形成的涂層，如涂、鍍、涂、糊、化學(xué)成膜等。在相關(guān)國家和國際標(biāo)準(zhǔn)中稱為涂料。

涂層厚度儀已成為加工工業(yè)和表面工程質(zhì)量檢測的重要組成部分，是產(chǎn)品達到優(yōu)良質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)的必要手段。為使產(chǎn)品國際化，我國出口商品和涉外項目中對涂層厚度有明確要求。

涂層厚度儀方法主要有楔形切割法、光切法、電解法、厚度差測量法、稱重法、X射線熒光法、β射線背散射法、電容法、磁性測量法和渦流測量法。這些方法的前五種都是破壞性檢測，比較復(fù)雜，速度慢，大多適合抽樣檢驗。

x射線和β射線法為非接觸、無損測量，但設(shè)備復(fù)雜、價格昂貴，測量范圍小。由于存在放射源，用戶必須遵守輻射防護規(guī)定。x射線法可用于測量極薄涂層、雙層涂層和合金涂層。β射線法適用于原子序數(shù)大于3的涂層和基體的測量。電容法僅在測量薄導(dǎo)體的絕緣涂層厚度時使用。

隨著科技的日益進步，特別是近年來微機技術(shù)的引入，磁法和渦流法厚度儀向小型化、智能化、多功能、高精度和實用化方向邁進了一步。測量分辨率達到了0.1微米，精度可以達到1%，有了很大的提高。它適用范圍廣，厚度儀測量范圍寬，操作簡單，價格低廉。它是工業(yè)和科學(xué)研究中應(yīng)用比較廣泛的厚度儀。

無損法不損傷涂層或基材，檢測速度快，可以使大量的檢測工作變得經(jīng)濟。

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