手機版
化工儀器網(wǎng)手機版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關(guān)注視頻號
三維納米定位臺是一個壓電掃描柔性引導(dǎo)平臺，例如：該平臺集成英國真尚有高精密的電容位移傳感器，對其行程進(jìn)行了反饋，形成閉環(huán)系統(tǒng)?？梢宰鳛橐粋€參考面可以集成其它維度的平臺，從而實現(xiàn)三維位置控制。
壓電納米定位臺具有移動面，是通過帶有柔性鉸鏈的機械結(jié)構(gòu)將壓電陶瓷產(chǎn)生的位移及出力等進(jìn)行輸出，分直驅(qū)與放大兩種結(jié)構(gòu)。以壓電陶瓷作為驅(qū)動源，結(jié)合柔性鉸鏈機構(gòu)實現(xiàn)X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸精密運動的壓電平臺，驅(qū)動形式包含壓電陶瓷直驅(qū)機構(gòu)式、放大機構(gòu)式。運動范圍可達(dá)500μm，具有體積小、無摩擦、響應(yīng)速度快等特點，配置高精度傳感器，可實現(xiàn)納米級分辨率及定位精度且具有較高的可靠性，在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著主要作用。
三維納米定位臺內(nèi)部采用無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu)，一體化的結(jié)構(gòu)設(shè)計。機構(gòu)放大式驅(qū)動原理，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可實現(xiàn)100μm位移。閉環(huán)版本定位精度可達(dá)納米級。采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度，具有高剛性、高負(fù)載、無摩擦等特點。納米定位臺的驅(qū)動形式包含壓電陶瓷直驅(qū)機構(gòu)式、放大機構(gòu)式。1-3維運動，行程范圍最大可達(dá)1.1mm，具有體積小、無摩擦、響應(yīng)速度快等特點，可以選擇配置高精度電容、電感、電阻應(yīng)變計傳感器實現(xiàn)納米級分辨率及定位精度且具有的可靠性。壓電納米定位臺在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。
三維納米定位臺產(chǎn)品屬于高精密儀器，對于安裝與使用有著非常嚴(yán)格的要求，以保證其長期使用的可靠性與穩(wěn)定性。
此外，壓電納米定位臺還可用于：
光路調(diào)整；
納米操控技術(shù)；
納米光刻，生物科技；
激光干涉；
CCD圖像處理；
納米測量、顯微操作；
納米壓印、納米定位；
顯微成像，共焦顯微。
相關(guān)產(chǎn)品
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負(fù)責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
采購中心