手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號(hào)：chem17
掃碼關(guān)注視頻號(hào)
半導(dǎo)體設(shè)備用靜電卡盤(pán)都有哪些尺寸？
半導(dǎo)體設(shè)備用靜電卡盤(pán)有各種形狀、尺寸和材料可供選擇。它們通常是圓形的，比晶圓尺寸稍大。常見(jiàn)的尺寸從直徑50毫米到超過(guò)300毫米不等。大多數(shù)卡盤(pán)有一個(gè)圓形（同心）環(huán)形真空設(shè)計(jì)，通常可以容納小管芯、一些晶圓和整個(gè)晶圓。例如，150毫米（6英寸）卡盤(pán)將有一個(gè)真空環(huán)形圖案，可以?shī)A住單個(gè)芯片、50毫米、75毫米、100毫米和150毫米的晶圓。
在半導(dǎo)體和液晶面板制造過(guò)程中，真空吸盤(pán)和機(jī)械吸盤(pán)系統(tǒng)經(jīng)常被用來(lái)固定加工用的基材。然而，由于吸附和變形的影響以及提高可靠性的要求，使用靜電的吸盤(pán)已被廣泛用于當(dāng)今一代半晶圓設(shè)備中，以克服這些限制。半導(dǎo)體設(shè)備用靜電卡盤(pán)由一個(gè)帶有表面電極的壓力板組成，通過(guò)高壓偏壓，在壓力板和芯片之間建立靜電力。
有兩種類型的靜態(tài)吸盤(pán)。它們的區(qū)別在于其介電性能，所以它們是產(chǎn)生夾持力的方式。庫(kù)侖卡盤(pán)的功能與傳統(tǒng)的電介質(zhì)電容器相似。J-R型的電阻大但有限，所以當(dāng)表面緊密接觸并施加電壓時(shí)，電流將流經(jīng)它和基體。電荷在基底和電介質(zhì)之間的界面上積累，以提供箝位力。此外，卡盤(pán)上不同配置的電極（或極）被用來(lái)獲得不同的特性。根據(jù)不同的應(yīng)用，有單極、雙極（兩極）和多極卡盤(pán)（包括六相六極型）。
1、半導(dǎo)體設(shè)備用靜電卡盤(pán)高電壓雙極輸出（正/負(fù)）。
2、輸出極性反轉(zhuǎn)功能使晶圓夾持/解夾更容易。
3、能夠通過(guò)電容測(cè)量（庫(kù)倫卡盤(pán)）或電流測(cè)量（J-R卡盤(pán)）檢測(cè)芯片的狀態(tài)。
4、模擬和數(shù)字接口可以很容易地集成到各種系統(tǒng)中。
5、高可靠性，機(jī)械繼電器的自由設(shè)計(jì)。
相關(guān)產(chǎn)品
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來(lái)源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來(lái)源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來(lái)源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對(duì)其真實(shí)性負(fù)責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個(gè)人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時(shí)，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來(lái)源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問(wèn)題，請(qǐng)?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
采購(gòu)中心