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表面輪廓儀如何用于測(cè)量動(dòng)態(tài)MEMS設(shè)備？
表面輪廓儀是一款三維表面形貌測(cè)量設(shè)備，采用白光共聚焦技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)對(duì)材料表面從納米到毫米量級(jí)的粗糙度測(cè)試，具有測(cè)量精度高、速度快、重復(fù)性好的優(yōu)點(diǎn)，該儀器性價(jià)比高，可用于取代傳統(tǒng)的探針式表面形貌儀與干涉式表面形貌儀。
表面輪廓儀測(cè)量具有非破壞性，測(cè)量速度快，準(zhǔn)確度高，測(cè)量范圍廣，可測(cè)透明、金屬材料，半透明、高漫反射，低反射率、拋光、粗糙材料(金屬、玻璃、木頭、合成材料、光學(xué)材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發(fā)、牙齒)，尤其適合測(cè)量高坡度高曲折度的材料表面，不受樣品反射率、環(huán)境光的影響，測(cè)量簡(jiǎn)單，樣品無(wú)需特殊處理。
傳統(tǒng)意義上，表面輪廓儀被用來(lái)測(cè)量樣品的表面特性。但在測(cè)量過(guò)程中，所測(cè)量的樣品需保持在靜止的狀態(tài)下，如果樣品不穩(wěn)定或者處于運(yùn)動(dòng)狀態(tài)則會(huì)引起圖像混亂模糊、數(shù)據(jù)不完整或者數(shù)據(jù)丟失等現(xiàn)象。然而對(duì)于MEMS設(shè)備，需要確定該設(shè)備處于運(yùn)動(dòng)狀態(tài)時(shí)的形貌特征，了解和確定其在運(yùn)動(dòng)狀態(tài)下的功能和特征對(duì)研發(fā)和生產(chǎn)質(zhì)量控制至關(guān)重要，作為質(zhì)量檢驗(yàn)，只有動(dòng)態(tài)測(cè)量才可以真正模擬MEMS實(shí)際運(yùn)行狀態(tài)，從而達(dá)到正真的功能檢測(cè)。
表面輪廓儀即可實(shí)現(xiàn)這一測(cè)量功能，運(yùn)用動(dòng)態(tài)測(cè)量模塊可以形成一個(gè)動(dòng)態(tài)測(cè)量體系。一個(gè)頻閃的LED光源同步于MEMS設(shè)備的觸發(fā)信號(hào)，通過(guò)調(diào)整光源的頻閃頻率，其MEMS設(shè)備的運(yùn)動(dòng)被有效“靜止”。實(shí)現(xiàn)光學(xué)輪廓儀在動(dòng)態(tài)設(shè)備上進(jìn)行測(cè)量。
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