一、箱式高溫爐注意事項(xiàng)

　　1.除了做實(shí)驗(yàn)外，不要停留在高溫爐管區(qū)。

　　2.實(shí)驗(yàn)工作完畢時(shí)，若無(wú)人繼續(xù)使用，請(qǐng)關(guān)特殊氣體，保留N2流動(dòng)， 爐管保持在standby溫度，并查看是否有其它電源該關(guān)而沒有關(guān)，如:cleanhood燈光、煮酸用的小電爐或其它，請(qǐng)隨手關(guān)掉。

　　3.處理HF時(shí)，請(qǐng)戴手套，如不小心碰到HF時(shí)，請(qǐng)立刻沖水，用葡萄酸鈣加2%之水，揉擦傷處15'。

　　4.石英玻璃制品請(qǐng)小心使用，以免破裂，引起嚴(yán)重割傷。

　　5.避免吸入從爐子或處理槽所冒出之各種氣體。

　　6.(KCN)不可與酸類混置，因兩者可產(chǎn)生劇毒之KCN氣體。

　　7.一旦發(fā)現(xiàn)有妨礙安全之事物時(shí)，請(qǐng)立即通知有關(guān)人員(技術(shù)員等)。

　　8.請(qǐng)節(jié)約純水用量。

　　9.破晶片、濾紙、棉花棒.......等，請(qǐng)勿掉入清洗槽的底部排水孔，以免因排水不良造成地板漬水。

　　10長(zhǎng)短推桿之前端，在還沒使用到時(shí)，請(qǐng)朝上以免污染。

　　11.晶片進(jìn)出爐口時(shí)，承接boat的holder，請(qǐng)勿碰觸爐管口，以免污染爐管。

　　二、高溫箱式電阻爐的常見故障

　　1.高溫氣氛爐不升溫

　　(1)電源電壓正常，控制器工作正常，電流表無(wú)顯示，常見故障為電爐絲斷路，可用萬(wàn)用表檢查并用相同規(guī)格的電爐絲更換。

　　(2)電源電壓正常，控制器不能工作，可檢修控制器內(nèi)部的開關(guān)、熔斷器及爐門的行程開關(guān)。如果電爐的爐門沒有關(guān)好控制器也不能工作，控制器故障的檢修方法可參閱控制器說(shuō)明書。

　　(3)供電電源的故障：接電時(shí)不能正常工作，控制器內(nèi)發(fā)出連續(xù)的噠噠聲音其原因?yàn)楣╇娋€路的電壓降太大或插座及控制開關(guān)接觸不好，可調(diào)整或更換。

　　2.高溫箱式電阻爐升溫慢

　　(1)電源電壓正常，控制器工作正常，常見故障為部分電爐絲斷路，可用萬(wàn)用表檢查并用相同規(guī)格的電爐絲更換。

　　(2)電源電壓正常，但是電爐的工作電壓低，其原因?yàn)楣╇娋€路的電壓降太大或插座及控制開關(guān)接觸不好，可調(diào)整更換。