原子力顯微鏡是利用懸臂末端的尖針掃描樣品表面,懸臂的機械設計結構帶來精確的懸臂定位。簡便的懸臂安裝,內置傳感器的“自檢測懸臂”比普通原子力顯微鏡探頭大得多,便于攜帶和安裝。良好的擴展功能通過激光檢測,可以擴展各種可選功能。此外,激光檢測模式只能通過插拔一根電纜來切換。金屬屏蔽隔音盒,4倍目標光學定位,無對焦,實時觀察和定位探頭樣品掃描區(qū)域。
原子力顯微鏡常見的五類探針概述:
1.非接觸/輕敲模式針尖及接觸模式探針
分辨率高,使用壽命一般。使用過程中探針不斷磨損,分辨率很容易下降。主要應用于表面形貌觀察。
2.導電探針
通過對普通探針鍍10-50納米厚的Pt得到。導電探針應用于EFM,KFM,SCM等。導電探針分辨率比tapping和contact模式的探針差,使用時導電鍍層容易脫落,導電性難以長期保持。導電針尖的新產品有碳納米管針尖、金剛石鍍層針尖、全金剛石針尖、全金屬絲針尖,這些新技術克服了普通導電針尖的短壽命和分辨率不高的缺點。
3.磁性探針
應用于MFM,通過在普通tapping和contact模式的探針上鍍Co、Fe等鐵磁性層制備,分辨率比普通探針差,使用時導電鍍層容易脫落。
4.大長徑比探針
大長徑比針尖是專為測量深的溝槽以及近似鉛垂的側面而設計生產的。不太常用,分辨率很高,使用壽命一般。
5.類金剛石/全金剛石探針
一種是在硅探針的針尖部分上加一層類金剛石碳膜,另外一種是全金剛石材料制備。這兩種金剛石碳探針具有很大的耐久性,減少了針尖的磨損從而增加了使用壽命,但后者的價格也不菲。
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