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激光功率計(jì)能量計(jì)是用來測試連續(xù)激光的功率或者脈沖激光在某一段時(shí)間的平均功率的儀器。常用到激光能量計(jì)，用來探測重復(fù)脈沖激光的單發(fā)能量和單脈沖激光的能量。Ophir的熱電堆型激光功率計(jì)通過熱電堆結(jié)構(gòu)將光能轉(zhuǎn)換成熱量，再轉(zhuǎn)換為電信號輸出，通過校準(zhǔn)來準(zhǔn)確測量激光功率的大小。一般由探頭和顯示設(shè)備組成，激光功率計(jì)探頭按照不同的原理和材料分為熱電堆型(thermal)、光電二極管型(PD:Photodiode)、以及包含兩種傳感器的綜合探頭(RP)，激光能量計(jì)則有熱釋電傳感器(PE:Pyroelectric)和熱電堆(Thermal)傳感器探頭。
激光功率計(jì)能量計(jì)常見的探頭類型：
a.光電二極管探頭
光電二極管的結(jié)構(gòu)通常是1個PN結(jié)，中間是本征層，也稱之為耗盡層或耗盡區(qū)，入射的光子在耗盡區(qū)激發(fā)自由電子和空穴，并引導(dǎo)它們分別向兩極運(yùn)動，從而產(chǎn)生光電流。表征光電二極管時(shí)，我們會用到量子效率，這里其實(shí)是指內(nèi)部量子效率，即產(chǎn)生的電子數(shù)與進(jìn)入載荷子區(qū)的光子數(shù)之比，用于確定光電二極管的性能。光電二極管的響應(yīng)度，對應(yīng)外部量子效率，即產(chǎn)生的電子數(shù)與所有到達(dá)二極管表面的光子數(shù)之比，包括因表面反射或吸收而沒有進(jìn)入載荷子區(qū)的光子，所以一般內(nèi)部量子效率高于外部量子效率。
b.熱敏探頭
熱敏探頭先將光子能量轉(zhuǎn)化成熱量，再轉(zhuǎn)化成電流。熱敏功率探頭基于熱電效應(yīng)(亦稱為塞貝克效應(yīng))：金屬或合金的一端受熱時(shí)會釋放電子，電子會朝著較冷的一端移動，這是一種只要存在溫度差就會產(chǎn)生的現(xiàn)象，產(chǎn)生于金屬之間。
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