上海全新到貨采購就找上海維特銳，公司03年成立，與日本、德國、美國、意大利等國外氣動液壓品牌常年合作，為全國30個(gè)行業(yè)的10000多客戶提供專業(yè)銷售，在行業(yè)內(nèi)有著口碑和影響力，公司承諾所供產(chǎn)品，假一罰十，質(zhì)保12個(gè)月，全國訂貨包郵，票可隨貨一起

布魯克斯5850EMH系列質(zhì)量流量控制器

可滿足高溫苛刻條件應(yīng)用需求的高純度流路

現(xiàn)今許多高級電子元器件的加工工藝都需要能夠?qū)Π嘿F的超純氣體和液態(tài)前體進(jìn)行相當(dāng)準(zhǔn)確并且具有高度可重現(xiàn)性的測定和控制。因此，布魯克斯儀器推出了自家的高溫金屬封裝熱質(zhì)量流量控制器和儀表來滿足上述需求。該產(chǎn)品將穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性超高的測量傳感器與快速、精準(zhǔn)的控制閥以及功能強(qiáng)大的電子元件相結(jié)合共同實(shí)現(xiàn)了精準(zhǔn)的化學(xué)品控制。高完整性（無泄漏）的超高純度全金屬流路可確保過程化學(xué)品純度，該流路專為防止外部污染（如濕氣和氧氣）腐蝕過程媒介而設(shè)計(jì)。

應(yīng)用

光纖制造 - MCVD

硅材料半導(dǎo)體器件加工工藝

CVD（蒸汽形式的前體輸送）

剝落（水蒸氣）

腐蝕（水蒸氣鈍化）

參數(shù)

流體類型    氣體 , 水汽

流量范圍    滿量程容量3 sccm - 10 slm

精度        SP ±1%

最大壓力    145 psig

溫度        150℃

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