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電子遷移率光譜儀具有耐久可靠的數(shù)據(jù)收集、控制、分析
電子遷移率光譜儀用于檢測(cè)空氣分子級(jí)污染（AMC)，在監(jiān)測(cè)到含酸類、胺類、氨以及氯化物氣體時(shí)提醒用戶。它具有ppt級(jí)的靈敏度，傳感器反應(yīng)迅速、監(jiān)測(cè)選擇性廣、性能穩(wěn)定。AirSentryII傳感器配有中央控制軟件，可以輕松地采集分析數(shù)據(jù)。AirSentryII傳感器提供連續(xù)可追溯的數(shù)據(jù)，來快速回應(yīng)污染源和污染事件。
電子遷移率光譜儀的特點(diǎn)：
1.酸類和基底（胺類、氨以及氯化物）的高靈敏度檢測(cè)
2.使用點(diǎn)、多點(diǎn)式、移動(dòng)式監(jiān)測(cè)應(yīng)用的通用產(chǎn)品配置
3.體積小，可放在任何位置
4.以太網(wǎng)，RS-232,4-20毫安輸出
5.連續(xù)監(jiān)測(cè)關(guān)鍵點(diǎn)
6.耐久可靠的數(shù)據(jù)收集、控制、分析
7.長(zhǎng)期數(shù)據(jù)穩(wěn)定性
8.每份測(cè)試成本
9.采樣方式靈活，對(duì)于稀有和貴重金屬的檢測(cè)和分析可以節(jié)約取樣帶來的損耗。
10.測(cè)試速率高，可設(shè)定多通道瞬間多點(diǎn)采集，并通過計(jì)算器實(shí)時(shí)輸出。
11.對(duì)于一些機(jī)械零件可以做到無損檢測(cè)，而不破壞樣品，便于進(jìn)行無損檢測(cè)。
12.分析速度較快，比較適用做爐前分析或現(xiàn)場(chǎng)分析，從而達(dá)到快速檢測(cè)。
13.分析結(jié)果的準(zhǔn)確性是建立在化學(xué)分析標(biāo)樣的基礎(chǔ)上。
電子遷移率光譜儀應(yīng)用：
1.在蝕刻技術(shù)位置里的實(shí)時(shí)腐蝕監(jiān)測(cè)
2.在關(guān)鍵的光刻系統(tǒng)內(nèi)的實(shí)時(shí)胺類以及氨的監(jiān)測(cè)
3.化學(xué)過濾器有效率的資格確認(rèn)
4.遍及潔凈室以及生產(chǎn)工具里的污染源的追蹤和去除
5.前端開口片盒圓晶片存儲(chǔ)模塊內(nèi)的污染分析
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