手機版
化工儀器網(wǎng)手機版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關(guān)注視頻號
電子遷移率光譜儀的使用應(yīng)用情況，要了解清楚
電子遷移率光譜儀用于檢測空氣分子級污染，在監(jiān)測到含酸類、胺類、氨以及氯化物氣體時提醒用戶。它具有ppt級的靈敏度，傳感器反應(yīng)迅速、監(jiān)測選擇性廣、性能穩(wěn)定。傳感器配有zhong央控制軟件，可以輕松地采集分析數(shù)據(jù)。傳感器提供連續(xù)可追溯的數(shù)據(jù)，來快速回應(yīng)污染源和污染事件。
電子遷移率光譜儀操作規(guī)程
1、首先檢查光譜儀后面的電源開關(guān)、光源開關(guān)是否處于關(guān)閉狀態(tài),如因停電等原因而處于開啟，必須先關(guān)閉。然后打開墻上的磁力開關(guān)，開啟穩(wěn)壓器開關(guān)，等電壓穩(wěn)定后再打開光譜儀的電源開關(guān)、光源開關(guān)。啟動計算機，打開氬氣過濾器電源，打開氬氣瓶總閥，將出端壓力調(diào)整到0.55Mp。
2、雙擊分析圖標進入分析界面。計算機下方的空氣室溫度顯示、UV室溫度顯示到達加熱溫度后方可進行分析。
3、ICAL（大曲線）校正
按F7，用ICAL專用樣塊分析校正，做五次，每次數(shù)據(jù)應(yīng)接近，不好的數(shù)據(jù)可刪除重做。
4、類型校正方法：（標樣校正）點F8(測量類型校正)，點標樣,點Yes,按F2開始.做三次,用F9存盤(平均值)。
應(yīng)用
在蝕刻技術(shù)位置里的實時腐蝕監(jiān)測
在關(guān)鍵的光刻系統(tǒng)內(nèi)的實時胺類以及氨的監(jiān)測
化學(xué)過濾器有效率的資格確認
遍及潔凈室以及生產(chǎn)工具里的污染源的追蹤和去除
前端開口片盒圓晶片存儲模塊內(nèi)的污染分析
相關(guān)產(chǎn)品
免責聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權(quán)行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負版權(quán)等法律責任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
采購中心