荷蘭bronkhorst P-502CM電子壓力傳感器誤差介紹
荷蘭bronkhorst P-502CM電子壓力傳感器專為滿足半導(dǎo)體市場以及其他高純度氣體應(yīng)用的要求而設(shè)計(jì)。這些儀器具有高表面質(zhì)量,采用模塊化結(jié)構(gòu),采用金屬對金屬密封,可確保長期密封性。P-502CM 適用于精確測量 2…100 mbar 和 1.28…64 bar 絕對壓力或 0.42...21 bar 表壓之間的壓力范圍。EPT 具有久經(jīng)考驗(yàn)的緊湊型直通流設(shè)計(jì),包括隔膜式壓阻式壓力傳感器、帶信號和現(xiàn)場總線轉(zhuǎn)換功能的基于微處理器的印刷電路板以及用于通過單獨(dú)安裝的控制閥進(jìn)行可選壓力控制的 PID 控制器.
荷蘭bronkhorst P-502CM電子壓力傳感器有以下誤差:
首先的偏移量誤差:由于壓力傳感器在整個(gè)壓力范圍內(nèi)垂直偏移保持恒定,因此變換器擴(kuò)散和激光調(diào)節(jié)修正的變化將產(chǎn)生偏移量誤差。
其次是靈敏度誤差:產(chǎn)生誤差大小與壓力成正比。如果設(shè)備的靈敏度高于典型值,靈敏度誤差將是壓力的遞增函數(shù)。如果靈敏度低于典型值,那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數(shù)。該誤差的產(chǎn)生原因在于擴(kuò)散過程的變化。
第三是線性誤差:這是一個(gè)對壓力傳感器初始誤差影響較小的因素,該誤差的產(chǎn)生原因在于硅片的物理非線性,但對于帶放大器的傳感器,還應(yīng)包括放大器的非線性。線性誤差曲線可以是凹形曲線,也可以是凸形曲線稱重傳感器。
最后是滯后誤差:在大多數(shù)情形中,壓力傳感器的滯后誤差可以忽略不計(jì),因?yàn)楣杵哂泻芨叩臋C(jī)械剛度。一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。
荷蘭bronkhorst P-502CM電子壓力傳感器的這個(gè)四個(gè)誤差是無法避免的,我們只能選擇高精度的生產(chǎn)設(shè)備,利用技術(shù)來降低這些誤差,還可以在出廠的時(shí)候進(jìn)行一定的誤差校準(zhǔn),盡最大的可能來降低誤差以滿足客戶的需要。
荷蘭bronkhorst P-502CM電子壓力傳感器技術(shù)規(guī)格:
絕對壓力傳感器代碼:350A - 范圍 (FS):100 ... 350 mbara - P-max:1,0 bara - 爆破壓力:1,4 bara
代碼:1K1A - 范圍 (FS):0,35 ... 1,1 bara - P-max:3,1 bara - 爆破壓力:4,2 bara
代碼:6K0A - 范圍 (FS):1,1 ... 6 bara - P-max:10,5 bara - 爆破壓力:14 bara
代碼:21KA - 范圍 (FS):6 ... 21 bara - P-max:62 bara - 爆破壓力:84 bara
代碼:64KA - 范圍 (FS):21 ... 64 bara - P-max:100 bara爆破壓力:不適用
相對壓力傳感器代碼:350R - 范圍 (FS):100 ... 350 mbarg - P-max:1,0 barg - 爆破壓力:1,4 barg
代碼:1k1R - 范圍 (FS):0,35 ... 1,1 barg - P-max:3,1 barg - 爆破壓力:4,2 barg
代碼:6K0R - 范圍 (FS):1,1 ... 6 barg - P-max:10,5 barg - 爆破壓力:14 barg
代碼:21KR - 范圍 (FS):6 ... 21 barg - P-max:62 barg - 爆破壓力:84 barg
精度(包括線性度和滯后)標(biāo)準(zhǔn):± 0,5 % 滿量程
重復(fù)性< 0,1 % 研發(fā)
壓力范圍壓力表1:50;
1 : 20 用于 P2 控制;1 : 5 用于 P1 控制
響應(yīng)時(shí)間(傳感器)2毫秒
工作溫度-10 … +50 °C
至 +70°C 應(yīng)要求提供
溫度敏感性0,1%滿量程/°C
泄漏完整性,舷外< 2 x 10 -11 Pa.m 3 /s 他
態(tài)度敏感度可以安裝在任何位置
熱身時(shí)間微不足道
東莞市廣聯(lián)自動化科技有限公司專業(yè)供應(yīng)進(jìn)口電磁閥、氣缸、泵、傳感器、繼電器、開關(guān)、離合器、過濾器、濾芯、流量計(jì)、液位計(jì)、編碼器、伺服閥等產(chǎn)品。德國美國有公司,廠家一手貨源,詳請致電。
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