化學(xué)品粒子計數(shù)器能檢測多大的粒子
化學(xué)品粒子計數(shù)器提供可靠的污染監(jiān)控,能夠檢測粒徑小至40nm的粒子。如果您的應(yīng)用需要監(jiān)測具有高分子散射的化學(xué)物中的粒子,粒子計數(shù)器是監(jiān)測工具。這項技術(shù)可以消除液態(tài)分子和粒子的光散射之間的競爭。這使得40nm粒徑大小被檢測到。背景和誤計數(shù)是過去的事了。突破性進(jìn)展確保只有和粒子指紋相匹配的信息才會被計數(shù),這樣獲取到的數(shù)據(jù)非??煽?。
化學(xué)品粒子計數(shù)器是靈敏度高精密儀器的細(xì)顆粒的測量值,該計數(shù)器不處于非潔凈(沒有早期效應(yīng),并且在過濾效率高),其設(shè)有辦公室或店鋪,僅在純化潔凈室(潔凈室清潔級使用)內(nèi)10-30一萬,測試數(shù)據(jù)比它和??準(zhǔn)確的結(jié)果。因為非凈化車間,有許多塵埃顆?;虼笥?0um的,如果大顆粒吸附到該計數(shù)器,將導(dǎo)致所述激光傳感器,這可能導(dǎo)致阻塞傳感器損壞,從而影響的灰塵或其它顆粒計數(shù)器故障的準(zhǔn)確性。另外在測試之前,簇?fù)肀仨毲鍧嵑透蓛舻囊路筒僮魅藛T穿著,工作人員不
再周圍走動,在靜狀態(tài)下(無生產(chǎn),通風(fēng)凈化系統(tǒng)開啟狀態(tài))進(jìn)行測試。這樣測試的結(jié)果才會相對準(zhǔn)確。
微電子工藝需要非常潔凈的工藝化學(xué)品,需要經(jīng)過高度過濾,適用于≤20nm的粒子?;瘜W(xué)式粒子計數(shù)器具有20nm的粒子靈敏度,是目前靈敏度高的高純度工藝化學(xué)品粒子傳感器。
來自化學(xué)品輸送和包裝系統(tǒng)的廣泛數(shù)據(jù)證明,與其競爭產(chǎn)品相比,具有20nm靈敏度的傳感器統(tǒng)計出的顆粒濃度較大,數(shù)據(jù)具有統(tǒng)計意義?;瘜W(xué)顆粒計數(shù)器是非常有用的工具,在化學(xué)顆粒源影響工藝和設(shè)備性能之前,便能夠快速檢測化學(xué)顆粒源。
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