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一、電子氣(electrongas)，是2019年經(jīng)全國(guó)科學(xué)技術(shù)名詞審定委員會(huì)審定發(fā)布的物理學(xué)名詞。
二、按其門(mén)類可分為純氣，高純氣和半導(dǎo)體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用于外延，摻雜和蝕刻工藝；高純氣體主要用作稀釋氣和運(yùn)載氣。電子氣體是特種氣體的一個(gè)重要分支。電子氣體按純度等級(jí)和使用場(chǎng)合，可分為電子級(jí)，LSI(大規(guī)模集成電路)級(jí)，VLSI(超大規(guī)模集成電路)級(jí)和ULSI(特大規(guī)模集成電路)級(jí)。
三、大宗特氣系統(tǒng)(BSGS)的及時(shí)應(yīng)用有利于提高污染控制。首先大包裝容器保證了氣體品質(zhì)的連續(xù)性，降低了多次充裝污染風(fēng)險(xiǎn)。另外由于換瓶頻率的減少，也減少了污染幾率。BSGS多采用了深層吹掃，顯著提高了吹掃效果。
四、對(duì)于大流量的BSGS，不但要考慮管路壓降和液化鋼瓶蒸發(fā)吸熱對(duì)流量的影響，還要考慮氣體經(jīng)過(guò)調(diào)壓閥減壓后的焦耳-湯普遜效應(yīng)。一般而言，氣體減壓后，溫度會(huì)降低，甚至液化。這會(huì)照成輸送壓力的不穩(wěn)定以及管路系統(tǒng)的損壞。因此需要考慮在減壓前對(duì)氣體進(jìn)行預(yù)熱。氣體監(jiān)控系統(tǒng)(GMS)通過(guò)計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)，實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體輸送系統(tǒng)的實(shí)時(shí)監(jiān)控，以確保系統(tǒng)的穩(wěn)定性。
五、輸送管道一般采用無(wú)縫SS316LEP管。施工采用自動(dòng)軌道焊接，經(jīng)保壓、氦檢漏和純度測(cè)試。對(duì)于劇毒、高反應(yīng)性和自燃?xì)怏w，應(yīng)使用雙套管輸送。一些劇毒氣體如磷烷、砷烷等，安全輸送系統(tǒng)(SDS)正在被廣泛使用。其鋼瓶?jī)?nèi)采用負(fù)壓吸附的方式，用真空法輸送，從根本上避免了氣體的泄漏。
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