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納米壓痕儀是一款多功能微米、納米機(jī)械性能測(cè)試平臺(tái)。
性能，操作簡(jiǎn)易。CETR-APEX壓痕和劃痕測(cè)試儀，配備6種容易互換的機(jī)械頭，高倍率顯微鏡和成像模塊(AFM和三維光學(xué)輪廓儀)。納米壓頭用來測(cè)量超薄涂層尤其是納米級(jí)涂層以及塊體材料的厚度、硬度、楊氏模量等。微米壓頭用于較厚涂層和塊體材料的硬度、楊氏模量等機(jī)械性能測(cè)量。納米、微米級(jí)摩擦學(xué)壓頭用于薄膜、涂層以及塊體材料的摩擦磨損測(cè)量、靜態(tài)/動(dòng)態(tài)摩擦學(xué)測(cè)量、度、附著力，粘滑性等機(jī)械性能測(cè)量。
1.三個(gè)測(cè)量探頭
左側(cè)：機(jī)械性能測(cè)試，可以簡(jiǎn)便更換納米、微米壓頭；
中部：顯微鏡，多達(dá)4個(gè)不同放大倍數(shù)的物鏡，隨意切換；
右側(cè)：掃描成像，AFM和三維光學(xué)輪廓儀隨意切換。
2.六種機(jī)械壓頭
奈米壓痕壓頭
用來測(cè)量超薄涂層尤其是奈米級(jí)涂層以及塊體材料的硬度,楊氏模量等（樣品表面需較為光滑，以確保數(shù)據(jù)可靠性) 。
奈米劃痕壓頭
主要用于奈米級(jí)超薄涂層的厚度測(cè)量、太陽能薄膜、ITO薄膜和光學(xué)涂層等)。
微米壓痕壓頭
儀器的微米壓痕壓頭用于較厚涂層和塊體材料的硬度和楊氏模數(shù)等機(jī)械性能測(cè)量。
微米劃痕壓頭
主要用于較厚涂層的微米級(jí)劃痕測(cè)量油漆、裝飾涂料等)。
毫米劃痕壓頭
用于宏觀尺度的劃痕測(cè)量。
納米、微米級(jí)摩擦學(xué)壓頭
納米壓痕儀用于薄膜、涂層以及塊體材料的磨潤(rùn)測(cè)量、靜態(tài)/動(dòng)態(tài)摩擦學(xué)測(cè)量、度、附著力、粘滑性等機(jī)械性能測(cè)量。
納米壓痕儀對(duì)測(cè)試的要求
1. 樣品要求：上下表面平行拋光，直徑不超過30mm，高度不超過20mm，如果高度超過10mm，直徑需保證是30mm左右，如果直徑小于10mm，那么高度建議5mm以下，利于樣品測(cè)試過程中的穩(wěn)固；如果是鑲的樣品，加工成直徑31.5mm，要不然容易打偏；
2. 特別注意：試樣厚度至少大于壓入深度h的10倍以上，壓入深度h至少是粗糙度Ra的20倍；壓入深度小于100nm數(shù)據(jù)可靠度不高；壓入深度一般2-3微米，深度再大沒有太大意義；對(duì)于表面比較粗糙的樣品，測(cè)試結(jié)果比較離散，建議測(cè)試點(diǎn)數(shù)不低于10個(gè)；樣品表面平整，不得有油污、顆粒物等污染物；提供樣品的泊松比；
納米壓痕儀的基本組成可以分為控制系統(tǒng)、 移動(dòng)線圈系統(tǒng)、加載系統(tǒng)及壓頭等幾個(gè)部分。壓頭一般使用金剛石壓頭，分為三角錐或四棱錐等類型。試驗(yàn)時(shí)，首先輸入初始參數(shù)，之后的檢測(cè)過程則由微機(jī)自動(dòng)控制，通過改變移動(dòng)線圈系統(tǒng)中的電流，可以操縱加載系統(tǒng)和壓頭的動(dòng)作，壓頭壓入載荷的測(cè)量和控制通過應(yīng)變儀來完成，同時(shí)應(yīng)變儀還將信號(hào)反饋到移動(dòng)線圈系統(tǒng)以實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，從而按照輸入?yún)?shù)的設(shè)置完成試驗(yàn)。
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