等離子體發(fā)生器中的等離子體是氣體分子在真空、放電等特殊情況下所形成的*情況和成分。典型的等離子的組成是，電子、離子、自由基和質(zhì)子。這似乎是將固體轉(zhuǎn)化為氣體所需要的能量，而制造離子體也需要能量。一定數(shù)量的離子體由帶電顆粒和中性顆粒(包括原子、離子和自由顆粒)混合而成。
       

等離子體可以導(dǎo)電并與電磁反應(yīng)。等離子體發(fā)生器形成等離子體的裝置，是在密封容器內(nèi)設(shè)置兩個(gè)電極以形成電場，通過真空泵達(dá)到一定的真空度，當(dāng)氣體越來越稀薄時(shí)，分子之間的間距和分子或離子的自由運(yùn)動(dòng)距離越來越長，它們發(fā)生碰撞形成等離子體，這時(shí)會(huì)發(fā)出輝光，因此稱為輝光放電處理。
       

等離子體發(fā)生器的形成機(jī)理包括電離反應(yīng)、帶電粒子的傳輸以及電磁運(yùn)動(dòng)學(xué)等理論。等離子體發(fā)生器的形成與氣化過程伴隨著電子、粒子和中性粒子的碰撞反應(yīng)。等離子體中粒子的碰撞會(huì)形成活性組分。由于等離子體處理的目的是改性表面或在其表面形成一層合成材料，所以整個(gè)加工過程主要關(guān)注等離子體與材料的相互作用和反應(yīng)產(chǎn)物的生成。
       

每個(gè)等離子體發(fā)生器的工藝過程都會(huì)局限在一個(gè)多維參數(shù)的腔室中，這個(gè)腔室的大小決定了整個(gè)工藝的經(jīng)濟(jì)性、反應(yīng)質(zhì)量、反應(yīng)性能及其他參數(shù)，這些參數(shù)可以使處理過程具有競爭性和工業(yè)應(yīng)用價(jià)值?？涨坏牟僮魇艿街T多限制條件的限制，如處理過程受到等離子體種類和反應(yīng)速度的限制，處理效率受到電能轉(zhuǎn)化為等離子體密度方式的限制，反應(yīng)產(chǎn)量受到某些原料在加工過程中消耗的限制。
在等離子體發(fā)生器輔助制造工業(yè)中。等離子體一般具有下列用途：
1.等離子體發(fā)生器可以作為熱源；
2.等離子體發(fā)生器可以作為化學(xué)催化劑；
3.等離子體發(fā)生器可以作為高能離子流和電子流源；
4.等離子體發(fā)生器可以作為濺射粒子源；
       

在很多工藝中，隨處可見等離子體發(fā)生器的這幾種基本特性，這就逐漸形成了以等離子體為處理手段的基礎(chǔ)制造業(yè)。單獨(dú)的某種處理過程或幾種處理過程綜合作用可賦予等離子體不同的用途。例如，在等離子體中，利用等離子體的化學(xué)合成作用形成新的化學(xué)藥品，或利用粒子的聚合作用在表面沉積形成薄膜等。