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技術(shù)參數(shù)：
1. 真空室：∅220mm*H400mm；
2. 可鍍最大工件尺寸：60*60mm,配抽拉式樣品臺(tái)， 樣品可旋轉(zhuǎn)；另配備銅基板樣品臺(tái)；
3. 真空系統(tǒng)：機(jī)械泵+分子泵抽氣系統(tǒng)； 極限真空度：優(yōu)于 5*10-5Pa；
4. 抽氣時(shí)間：大氣壓~8*10-4Pa 小于 30min；
5. 蒸發(fā)：電阻式蒸發(fā)電極（1 對(duì)），可達(dá)到 1800℃（只要熔點(diǎn)低于 1600 度的都可以蒸鍍）功率：2KW；
6. 開(kāi)啟方式：正面開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu)，便于換絲及裝料；
7. 水冷循環(huán)系統(tǒng) 0.5P；
注：可根據(jù)用戶需要進(jìn)行配置調(diào)整！
2. 可鍍最大工件尺寸：60*60mm,配抽拉式樣品臺(tái)， 樣品可旋轉(zhuǎn)；另配備銅基板樣品臺(tái)；
3. 真空系統(tǒng)：機(jī)械泵+分子泵抽氣系統(tǒng)； 極限真空度：優(yōu)于 5*10-5Pa；
4. 抽氣時(shí)間：大氣壓~8*10-4Pa 小于 30min；
5. 蒸發(fā)：電阻式蒸發(fā)電極（1 對(duì)），可達(dá)到 1800℃（只要熔點(diǎn)低于 1600 度的都可以蒸鍍）功率：2KW；
6. 開(kāi)啟方式：正面開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu)，便于換絲及裝料；
7. 水冷循環(huán)系統(tǒng) 0.5P；
注：可根據(jù)用戶需要進(jìn)行配置調(diào)整！
設(shè)備結(jié)構(gòu)介紹：
該設(shè)備由真空室、真空機(jī)組和電氣系統(tǒng)組成
1. 真空室
圓形形腔體，側(cè)部抽氣，正面開(kāi)門(mén)。不銹鋼材質(zhì)，配 DN60 觀察窗（含防污擋板）、預(yù)抽接口、充氣接口； 內(nèi)部有底板、蒸發(fā)源等；
2. 真空系統(tǒng)及進(jìn)氣
采用 110L 分子泵+4L 旋片式機(jī)械泵。采用真空波紋管連接，配有復(fù)合式數(shù)顯真空測(cè)量?jī)x表。
3. 電氣系統(tǒng)
電氣系統(tǒng)包括真空機(jī)組控制、蒸發(fā)與烘烤控制、真空測(cè)量控制等部分組成。有安全互鎖機(jī)構(gòu)，有效防止誤操作發(fā)生。系統(tǒng)配有 1 套蒸發(fā)電源，數(shù)顯。
4. 膜厚測(cè)量裝置：采用石英晶振膜厚儀及水冷探頭一套（選配）。
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