真空鍍膜機(jī)常見的幾種故障處理方法

來源：北京佳源偉業(yè)科技有限公司 2023年03月30日 21:13

真空鍍膜機(jī)主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空電阻加熱蒸發(fā)，電子槍加熱蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積，離子束濺射等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。

常見的幾種故障處理方法：

一、檢測不到掩膜夾具翻轉(zhuǎn)信號：

1、檢查翻面信號源位置

2、將翻面輸入信號人工短接，使用翻面檢測功能，計算機(jī)能檢測到信號時，證明問題在翻面控制開關(guān)上，根據(jù)情況做相應(yīng)處理。檢測不到信號首先檢查線路，然后更換控制卡。

二、掩膜夾具翻轉(zhuǎn)不穩(wěn)定:

1、檢查翻板的初始位置是否符合時機(jī)

2、檢測翻面控制開關(guān)工作是否穩(wěn)定，可用指針萬用表跟蹤監(jiān)測。

3、檢查翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)動作是否靈活可靠

4、檢查翻面信號次數(shù)設(shè)置

5、檢查旋轉(zhuǎn)工作臺是否與鐘罩內(nèi)壁有磨擦現(xiàn)象

6、檢測旋轉(zhuǎn)工作臺在轉(zhuǎn)動時的穩(wěn)定性

三、在同一掩膜夾具頻率散差大:

1. 檢查晶片本身是否散差大

2. 檢查膜層修正板位置是否變動,重新調(diào)節(jié)修正板

3．檢查一下?lián)醢逶陂_、關(guān)時是否全遮擋住鉬舟

4．檢查一下轟擊環(huán)是否完遮擋住鉬舟

5．檢查鉬舟使用是否符合要求，要采用圓形鉬舟

相關(guān)產(chǎn)品

凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對其真實(shí)性負(fù)責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。

国产精品视频一区二区三区四,亚洲av美洲av综合av,99国内精品久久久久久久,欧美电影一区二区三区电影