實驗名稱：基于聲表面駐波技術(shù)的懸浮微粒集中實驗研究

　　研究方向：生物醫(yī)療

　　測試設(shè)備：PDMS微流體通道芯片、壓電基片；觀察設(shè)備為基恩士VHX-2000型三維超景深顯微鏡；激發(fā)設(shè)備有射頻信號發(fā)生器、ATA-8202射頻功率放大器；使用材料有精細濾紙，廢機油，試管，酒精，接頭、輸液毛細管，注射器或蠕動泵等。

　　實驗過程：

圖：聲表面駐波對懸浮微粒進行集中實驗裝置圖

　　首先根據(jù)所采購的模板，通過絲網(wǎng)印刷法在壓電基底上印刷好兩組相同的IDT電極，為區(qū)分實驗效果，本實驗印刷的叉指電極對數(shù)分別為12對和24對。將印刷好的電極進行烘于并極化保證其導(dǎo)電性能良好。通過切割機切割或激光切割在兩組叉指電極的中間加工成微流通道，為了在微流通道中形成只有一個節(jié)點的SAW駐波場，微流通道的寬度應(yīng)為波長的一半，即500um。繼而通過壓力傳動裝置或蠕動泵把含有雜質(zhì)顆粒的潤滑油由A處注入通道,當(dāng)未對IDT施加信號前，即沒有激發(fā)出SAW時，粒子在通道內(nèi)均勻分布。當(dāng)對兩個IDT施加一樣的射頻信號后，兩列振幅、頻率相同，但傳播方向相反的SAW就會隨之產(chǎn)生，在微流通道區(qū)域內(nèi)當(dāng)兩列SAW疊加后會形成一個SAW駐波場。微粒在駐波場中會受到聲輻射力的影響，從而向節(jié)點處會聚，最后在通道中央形成一帶狀的直線。將已切割好通道的SAW驅(qū)動器固定于事先準備好的塑料泡沫中以便于放置在三維超景深顯微鏡下，最終制成的SAW驅(qū)動器及切成型微流通道如圖4.7所示。

圖：SAW驅(qū)動器及切割成型微流通道

　　驅(qū)動/傳感器件通過在壓電基底上采用絲網(wǎng)印刷電極的方法制備，當(dāng)對該傳感器上的一對IDT施加相同的射頻信號時，將產(chǎn)生兩列振幅相同、頻率相同、傳播方向相反的SAW，疊加后形成只有一個聲壓節(jié)點的超聲駐波場。由于微粒在駐波場中將受到聲輻射力的作用，且聲輻射力隨著粒子與聲壓節(jié)點的間距的縮短而減小，所以微粒將有向節(jié)點聚集的趨勢，并最終停在節(jié)點附近，從而可滿足微粒分離要求。要達到分離微粒的目的，必須在兩個IDT之間產(chǎn)生駐波場。

圖：SAW中心頻率測試圖

　　實驗過程中首先要通過改變IDT的頻率來產(chǎn)生穩(wěn)定的駐波場。為了驗證實驗中形成了駐波場，本文采用分析靜態(tài)應(yīng)變儀記錄的應(yīng)變片應(yīng)變數(shù)據(jù)的方法判斷駐波場的存在。駐波檢驗實驗裝置中采用信號發(fā)生器在換能器兩端SAW換能器上同時激勵連續(xù)正弦波，在未切割微流通道前粘貼應(yīng)變片，采用靜態(tài)應(yīng)變儀接收應(yīng)變片的應(yīng)變值，示波器用來記錄兩通道發(fā)射的激勵信號。本實驗中采用5MHz頻率作為駐波激勵信號頻率，以達到最佳的激勵效果。在切制微流通道前在兩SAW換能器中間粘貼應(yīng)變片，兩端同時激勵SAW，從而引起駐波振動當(dāng)IDT的外加激勵電信號的頻率與換能器的中心頻率相同時，IDT中每一對又指電極所激發(fā)的波同位相相加，這時激發(fā)的IDT因此需要檢測DT的中心頻率。圖4.9為SAW中心頻率測試圖，采用一端信號發(fā)生器激勵，另一端示波器采集信號，當(dāng)激勵頻率變化時，相應(yīng)的接收電壓幅值發(fā)生變化，當(dāng)頻率為5MHz時，幅值達最大412mV,此時即為可應(yīng)用的激勵頻率值。

　　實驗結(jié)果：

　　表4.2為增加駐波和未加駐波時的應(yīng)變測試結(jié)果，從表中可以看出，兩端同時增加相同的激勵信號時，應(yīng)變程差值最大的交替變化，可見已產(chǎn)生駐波，由駐波引起的波峰和波谷的變化而導(dǎo)致相應(yīng)的應(yīng)變變化。

圖：聲表面駐波引起的應(yīng)變測試結(jié)果

　　安泰ATA-8202射頻功率放大器：

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