用于真空的準分子紫外線系統(tǒng)介紹

來源：秋山科技（東莞）有限公司 2023年04月10日 16:45

用于真空的準分子紫外線系統(tǒng)介紹

基于準分子光源特點，我們來看看準分子光源是如何產(chǎn)生作用的。以準分子波長172 nm為例，紫外線照射固體表面后，表面的污染物有機分子結(jié)合被強的光能切斷、氧化，而后分解成氧氣和氫氣等易揮發(fā)性物質(zhì)，最終揮發(fā)消失，被清洗后的表面清潔度高。

1、打破分子鍵

打破有機物質(zhì)的分子鍵的能量需要超過物質(zhì)結(jié)合能的光能，同時物質(zhì)的能量吸收（激發(fā)）越大，就越容易引發(fā)反應(yīng)（分解）并且所需的處理時間越短。因此使用低壓紫外線燈無法打破的結(jié)合能可以使用準分子燈產(chǎn)生的 172nm 波長進行分解。

2、大量產(chǎn)生激發(fā)態(tài)氧原子

準分子紫外線燈與傳統(tǒng)汞紫外線燈比較，光強超大，靶向精準，無汞制造，綠色環(huán)保，可回收，無二次污染。與低壓紫外燈的185nm波長相比，準分子燈172nm波長的分子氧吸收系數(shù)大20倍左右。這不僅可以產(chǎn)生高密度的活性氧，而且通過直接作用于氧氣，可以產(chǎn)生具有強大氧化能力的強激發(fā)氧。

Eximer真空光源和準分子真空靜電消除器

易于安裝到帶 ICF114 法蘭的真空室視口。
通過使用風冷準分子燈的簡單系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)了低成本和高性能。可以瞬時打開和關(guān)閉。

特征

真空室等靜電問題的對策
卷對卷薄膜抗靜電
晶圓等靜電卡盤的吸附和運輸措施
防止因電氣化而吸附異物的對策
電子顯微鏡的靜電對策
通過帶電實現(xiàn)均勻的薄膜厚度，防止針孔

規(guī)范

波長	172 納米
真空法蘭端口	ICF114 （兼容JIS法蘭）
冷卻方式	風冷
功能	燈亮起、熄滅
光源尺寸	寬 300 x 高 157 x 深 180 mm
電源尺寸	寬 250 x 高 133 x 深 200 mm
權(quán)力	AC100V 50/60Hz 2A 帶接地端子
氣	N2
電纜長度（燈~電源）	0，5 米
環(huán)境規(guī)格	溫度15-30°C，濕度20-80%，無冷凝、腐蝕、振動的環(huán)境條件。

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