spectra在線膜厚測(cè)量裝置技術(shù)分析

來(lái)源：秋山科技（東莞）有限公司 2023年05月30日 15:32

spectra在線膜厚測(cè)量裝置技術(shù)分析

使用小型卡爾蔡司光譜儀，根據(jù)形狀和尺寸對(duì)每種應(yīng)用進(jìn)行樣品包裝。
從薄膜和圓盤形狀到玻璃板和圓柱狀物體，如果同時(shí)使用顯微光學(xué)系統(tǒng)，則可以將光線縮小到細(xì)點(diǎn)，并輕松測(cè)量樣品的薄膜厚度。

該系統(tǒng)可以測(cè)量長(zhǎng)薄膜的薄膜厚度線輪廓。安裝在執(zhí)行器上的光譜反射測(cè)量單元的最大行程為 1200 mm，可移動(dòng)并測(cè)量薄膜厚度。圖表顯示在顯示屏上，可以保存和打印測(cè)量數(shù)據(jù)。

測(cè)量厚度范圍	0.5-100um（光學(xué)厚度）實(shí)際厚度是將上述除以折射率得到的值
保障	區(qū)域傳感器、急停開關(guān)、聯(lián)鎖
測(cè)量時(shí)間	15分鐘，1200毫米
權(quán)力	AC100V?50，60Hz?5A以下
測(cè)量位置	設(shè)置在 0 到 1200 mm 之間，間距為 1 mm
寬度分辨率	0.1-200mm可任意設(shè)定
寬度位置精度	±0.02毫米
設(shè)置波長(zhǎng)范圍	400-1000納米
設(shè)置發(fā)光部分	5倍物鏡
測(cè)量光斑直徑	φ1毫米

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