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等離子清洗機氣體的應用領域和產(chǎn)品結(jié)構

來源:寧波普瑞思儀器科技有限公司   2023年06月08日 10:22  
  等離子清洗機中常用的工藝氣體包括氧氣、氬氣、氮氣、壓縮空氣、氫氣、四氟化碳等。它利用氣體電離產(chǎn)生的等離子體對工件表面進行處理。不同的工藝氣體會被用來達到最佳的處理效果,那么等離子清洗機中常用的工藝氣體如何選擇呢?
  氧氣是等離子清洗常用的活性氣體,屬于物理+化學處理方式。電離后產(chǎn)生的離子可以物理轟擊表面,形成粗糙的表面。同時,高活性氧離子可以與斷裂的分子鏈發(fā)生化學反應,形成活性基團的親水表面,從而達到表面活化的目的。
  有機污染物的元素在斷鍵后會與高活性氧離子發(fā)生化學反應,形成一氧化碳、二氧化碳、H2O等分子結(jié)構。從表面分離,從而達到表面清潔的目的。
  氧主要用于高分子材料的表面活化和有機污染物的去除,但不適合易氧化的金屬表面。真空等離子體中的氧等離子體為淺藍色,在局部放電條件下類似白色。放電環(huán)境光線明亮,肉眼觀察真空室可能沒有放電。
  產(chǎn)品結(jié)構
  真空等離子體表面處理系統(tǒng)主要包括三個部分:真空腔及真空系統(tǒng),等離子體發(fā)生器,控制系統(tǒng)。
 ?。ˋ)真空腔及真空發(fā)生系統(tǒng)
  真空腔固定于機柜框架內(nèi),左右兩側(cè)為可拆門,因此內(nèi)部的真空腔及真空系統(tǒng)的維修是極方便的。真空發(fā)生系統(tǒng)由波紋管、KF接頭、真空泵以及油霧過濾器組成,核心部件真空泵(真空泵組)。
 ?。˙)等離子體發(fā)生器
  等離子體發(fā)生器在20Pa-100Pa間給電極板施加電壓,產(chǎn)生低溫等離子體。利用高頻轉(zhuǎn)換技術形成高頻電壓加到電極板上,當真空腔內(nèi)達到一定真空度時,產(chǎn)生等離子體放電現(xiàn)象,放電后電路會自動調(diào)節(jié)電壓到適當值,保證電路正常穩(wěn)定放電。
  (C)控制系統(tǒng)
  本系統(tǒng)使用MCGS觸摸屏、西門子PLC、中文界面。設備的工藝流程控制:真空泵啟動->擋板閥開啟->達到設定的真空度->通入工藝氣體->RF放電->工作時間到破真空->工作完成。設備分自動和手動兩種方式。

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