將潔凈室交付給用戶前一項必須進(jìn)行的工作就是測量懸浮粒子的濃度。這樣做是為了確保粒子計數(shù)處于設(shè)計階段所設(shè)定的標(biāo)準(zhǔn)范圍以內(nèi)。
測量潔凈室內(nèi)的懸浮污染可以在此種占用狀態(tài)下進(jìn)行,這就是 ISO14644-1標(biāo)準(zhǔn)中所規(guī)定的:
空態(tài):潔凈室建造完成,可以投入使用。其所有的設(shè)施均已連通并處工作狀態(tài),但室內(nèi)無生產(chǎn)設(shè)備無人員在場;
靜態(tài):潔凈室建造完成,所有設(shè)施都在工作,生產(chǎn)設(shè)備在按規(guī)定運轉(zhuǎn),但無操作人員在場;
動態(tài):潔凈室處正常運行狀態(tài),所有設(shè)施接通并在運行,生產(chǎn)設(shè)備和人員(根據(jù)情況)就位,人員在進(jìn)行正常的機(jī)器操作。
從建筑商建造好潔凈室到室內(nèi)生產(chǎn)出產(chǎn)品這之間,常常有相當(dāng)長的時間間隔。但建筑商愿意在潔凈室建好后就收款,所以通常的做法是在“空態(tài)”狀態(tài)下檢查潔凈室的狀況是否令人滿意。如果令人滿意,就支付全部或大部分款項。而問題是在“空態(tài)”條件下檢測潔凈室時,室內(nèi)沒有生產(chǎn)設(shè)備在工作,沒有人員在場,沒有產(chǎn)生懸浮粒子。因此,室內(nèi)的懸浮粒子濃度非常接近經(jīng)過過濾的送風(fēng)中的粒子濃度。但實際上潔凈室的測試需要一個或多個人員在場,這些人員會增加室內(nèi)粒子計數(shù)。但其計數(shù)要比潔凈室處在“動態(tài)”條件下的粒子計數(shù)低得多。
因此,在潔凈室處于“空態(tài)”狀態(tài)下確認(rèn)其是否符合潔凈度等級限值,對建筑商有利。因為在所有的占用狀態(tài)下,“空態(tài)”的粒子計數(shù)低,而且“空態(tài)”測試可以在潔凈室完工后立即進(jìn)行。如果在潔凈室的建筑合同中未規(guī)定占用狀態(tài),恐怕就會有問題。用戶可能希望潔凈室在占用的狀態(tài)下有令人滿意的性能,而建筑商可能考慮的是使?jié)崈羰疫_(dá)到正確的潔凈度等級,即使是在“空態(tài)”狀態(tài)下也行。所以,應(yīng)在建筑合同中明確哪種占用狀態(tài)下的潔凈度。
如果潔凈室的設(shè)計正確,潔凈室是在空著的時候即“空態(tài)”條件下測試的,那么就有一個經(jīng)驗法則可以適用。這就是說“空態(tài)”下的潔凈室比“動態(tài)”時的潔凈度高出一個潔凈度等級。但這并非總是對的。而在“空態(tài)”狀態(tài)下增加一些另外的測試,應(yīng)能預(yù)示出潔凈室在“靜態(tài)”或“動態(tài)”狀態(tài)下其符合潔凈度等級的可能性有多大。送風(fēng)量與送風(fēng)質(zhì)量就是這類測試的重要內(nèi)容。對于單向流系統(tǒng)中的定向氣流而言,如果沒有粒子繞過了過濾器進(jìn)入室內(nèi)且風(fēng)速正確,就可能達(dá)到正確的潔凈度等級。而在紊流潔凈室中,能否在“動態(tài)”狀態(tài)下達(dá)到正確的潔凈標(biāo)準(zhǔn)就不那么肯定。因為紊流潔凈室仰仗的是充分的送風(fēng)量來稀釋機(jī)器和人員散發(fā)出的污染。但對于有經(jīng)驗的設(shè)計者來說,這應(yīng)不是一個問題。通常設(shè)計者在設(shè)計中保留的余地過大,結(jié)果潔凈室比期望的更為潔凈。
建筑商將潔凈室交工后,就要在潔凈室內(nèi)安裝設(shè)備并進(jìn)行調(diào)試。最后是開始生產(chǎn)。然后,就可以在“動態(tài)”狀態(tài)下測量粒子污染的狀況?!皠討B(tài)”條件是具相關(guān)性的條件,因為它反映的是當(dāng)生產(chǎn)區(qū)域處于工作狀態(tài)下的實際污染狀況。而這種條件下的粒子計數(shù)也可能就是高的。
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