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送檢樣品必須為干燥固體、塊狀、片狀、纖維狀及粉末狀均可。應(yīng)有一定的化學、物理穩(wěn)定性，在真空中及電子束轟擊下不會揮發(fā)或變形；無磁性、放射性和腐蝕性。含水分較多的生物軟組織的樣品制備，要求用戶自己進行臨界點干燥之前的固定、清洗、脫水及用醋酸（異）戊酯置換等處理，最后由實驗室進行臨界點干燥處理。
觀察圖像樣品應(yīng)預(yù)先噴金膜。一般情況下，樣品盡量小塊些 (≤10×10×5 mm 較方便)。粉末樣品每個需1克左右。納米樣品一般需超聲波分散，并噴涂超細微金膜。
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