Nanotech簡易型膜厚測試儀Autocrater工作原理分析

來源：秋山科技（東莞）有限公司 2023年11月15日 16:47

Nanotech簡易型膜厚測試儀Autocrater工作原理分析

測量原理及規(guī)格

首先，滴下金剛石漿料，并用旋轉(zhuǎn)的鋼球拋光樣品表面。

接下來，觀察創(chuàng)建的拋光痕跡并
測量上圖中 X 和 Y 之間的距離。

根據(jù)測量的長度 X 和 Y 以及用于拋光的球的半徑，根據(jù)上式計算膜厚度。

●規(guī)格
◆軸轉(zhuǎn)速：100～3,000rpm
◆可設(shè)定旋轉(zhuǎn)時間：1秒～60分鐘
◆最大樣品尺寸：φ40mm

*可選配亞克力蓋。

Autocrater可以通過用旋轉(zhuǎn)的鋼球拋光樣品并使用光學(xué)顯微鏡測量拋光痕跡的長度來測量薄膜厚度。

■無需樣品制備

無需進行切割、拋光或樹脂嵌入等樣品制備即可創(chuàng)建橫截面。
可以按原樣測量沉積的樣品。

■可評估多層膜

各層的膜厚可以通過化學(xué)處理等改變膜的組成作為色調(diào)的差異來評價。

■應(yīng)用實例

TiN、CrN、TiAlN、TiCN 等、DLC、電鍍、這些的多層膜

本試驗機根據(jù)磨痕長度測量結(jié)果，采用ISO20423《弧坑磨削法測定涂層厚度》中規(guī)定的計算方法計算涂層厚度。此外，為了用該測試儀測量薄膜厚度，您將需要一個單獨的顯微鏡來測量拋光痕跡的長度。

消耗品

金剛石漿料和球

相關(guān)產(chǎn)品

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