真空環(huán)境的獲得比較困難,尤其是超高真空環(huán)境,其中主要的影響因素有以下幾點(diǎn):
1. 部件生產(chǎn)過(guò)程中,其表面不可避免的會(huì)附著金屬碎屑和灰塵,因此在進(jìn)行抽空作業(yè)前,必須對(duì)部件表面進(jìn)行清潔,以保證環(huán)境盡快達(dá)到所需要求。
2. 在溫度和壓力的作用下,所有物質(zhì)都可以通過(guò)冷凝和蒸發(fā)在固液氣三種狀態(tài)下變化,因此物質(zhì)的聚集狀態(tài)對(duì)真空環(huán)境的影響巨大。
3. 吸附在部件表面的氣體在真空環(huán)境下會(huì)被解吸,之后逸到真空環(huán)境中,影響真空系統(tǒng)、另外真空系統(tǒng)通常由不同的密封件連接在一起,由于密封質(zhì)量的不同,因此整體的漏率對(duì)真空環(huán)境影響較大。
4. 為了獲得高質(zhì)量的真空環(huán)境,在操作過(guò)程中,可使用烘烤的方法增加氣體的解吸和擴(kuò)散,以便設(shè)備能更多的抽出金屬中逸出的氣體。
5. 由于解吸過(guò)程緩慢,為了防止冷凝蒸汽(如水蒸氣和其他可冷凝物)吸附在真空室內(nèi)壁上,造成避免不必要的污染,應(yīng)該使用干燥的氮?dú)獯婵諝鈱?duì)真空室進(jìn)行排氣。
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