適用于60系列半導體工藝產(chǎn)品特點分析

來源：秋山科技（東莞）有限公司 2023年11月21日 13:29

適用于60系列半導體工藝產(chǎn)品特點分析

介紹Flowel株式會社的各種產(chǎn)品，包括多年來受到半導體行業(yè)和其他行業(yè)好評的“氟樹脂接頭”。

可提供專用夾具
?高性能擴口型接頭
?優(yōu)異的液體置換特性
?用途：涂布機、顯影機

特征

采用國內(nèi)的喇叭形密封方式。本體和螺母形狀均具有的結構，接近地滿足客戶的要求：清潔安全、不積液、不泄漏、無需重新擰緊，性能配備。非常適合防止 CMP 漿料結塊、光刻膠起泡和膠凝以及蝕刻和剝離溶液泄漏。

擴管時需要特殊工具。有兩種施工方法：“冷”和“熱”。

?冷喇叭口：在室溫下執(zhí)行的安裝方法（杠桿式）
?熱喇叭口：在加熱條件下執(zhí)行的安裝方法（杠桿式、手持式）

“專用工具”有兩種類型：

?杠桿式：杠桿式夾具將杠桿原理應用于擴口管，因此任何人都可以輕松且均勻地擴口管。
?手持式：熱火炬施工專用的手持式夾具。用熱風槍加熱管子，使管子張開。
適用于管道長度較短和工作區(qū)域較少的情況。

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