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F20膜厚測量系統(tǒng)工作原理分析
這是一種行業(yè)標準、低成本、多功能桌面涂層厚度測量系統(tǒng)，已安裝在全球 5,000 多個裝置中。它可用于廣泛的應(yīng)用，從研究和開發(fā)到制造現(xiàn)場的在線測量。
F20基于光學干涉法，可以在約1秒內(nèi)輕松測量透明或半透明薄膜的厚度、折射率和消光系數(shù)。
它還支持多點在線測量，并支持RS-232C和TCP/IP等外部通信，因此也可以從PLC或主機進行控制。
當入射光穿透不同物質(zhì)的界面時將會有部份的光被反射，由于光的波動性導致從多個界面的反射光彼此干涉，從而使反射光的多波長光譜產(chǎn)生振蕩的現(xiàn)象。從光譜的震蕩頻率，愈多的震蕩代表較大的厚度。而其他的材料特性如折射率與粗糙度也也能同時測量。
主要特點
兼容多種薄膜厚度（1nm 至 250μm）
兼容寬波長范圍（190nm至1700nm）
強大的膜厚分析
光學常數(shù)分析（折射率/消光系數(shù)）
緊湊型外殼
支持在線測量
主要用途
| 平板 | 單元間隙、聚酰亞胺、ITO、AR膜、 各種光學膜等 |
|---|---|
| 半導體 | 抗蝕劑、氧化膜、氮化膜、非晶/多晶硅等 |
| 光學鍍膜 | 防反射膜、硬涂層等 |
| 薄膜太陽能電池 | CdTe、CIGS、非晶硅等 |
| 砷化鋁鎵（AlGaAs）、磷化鎵（GaP）等 | |
| 醫(yī)療保健 | 鈍化、藥物涂層等 |
基本應(yīng)用:
基本上所有光滑的、半透明或低吸收系數(shù)薄膜都可以測量。這包括幾乎所有的電介質(zhì)與半導體材料，例如：
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