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測(cè)量顯微鏡的分類簡(jiǎn)介
光學(xué)測(cè)量顯微鏡
采用透、反射的方式對(duì)工件長(zhǎng)度和角度作精密測(cè)量。主要運(yùn)用于錄像磁頭、大規(guī)模集成電路線寬以及其它精密零件的測(cè)試。廣泛地適用于計(jì)量室、生產(chǎn)作業(yè)線及科學(xué)研究等部門。
主要優(yōu)點(diǎn)：工作臺(tái)除作X、Y坐標(biāo)的移動(dòng)外，還可以作360度的旋轉(zhuǎn)，是一種理想的固定場(chǎng)所小型精密測(cè)量?jī)x器。
數(shù)碼測(cè)量顯微鏡
一種將將顯微鏡看到的實(shí)物圖像通過(guò)數(shù)模轉(zhuǎn)換，使其成像在顯微鏡自帶的屏幕上或計(jì)算機(jī)上的顯微鏡設(shè)備。特別適用于制造業(yè)、精密零件以及不方便
移動(dòng)的物件的觀察測(cè)量。廣泛地適用于生產(chǎn)作業(yè)線及科學(xué)研究等部門。
主要優(yōu)點(diǎn)：小巧便攜，只需一臺(tái)計(jì)算機(jī)就可以直觀的觀測(cè)微觀放大圖像，進(jìn)行精確數(shù)據(jù)測(cè)量、拍照備份圖片及數(shù)據(jù)資料;還可以根據(jù)客戶需要定制特種光源（熒光、紅外）用于特殊場(chǎng)所觀測(cè)。數(shù)碼測(cè)量顯微鏡幾年來(lái)得到廣泛的普及使用，已成為一種可靠實(shí)用的精密測(cè)量?jī)x器。
Z軸非接觸式
以裂像聚焦指示器為測(cè)量原理, 采用高精度光學(xué)聚焦點(diǎn)檢測(cè)方式進(jìn)行非接觸高低差測(cè)量。不僅可以對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)影像, 還能觀察測(cè)量點(diǎn)的表面狀態(tài),對(duì)高度,深度,高低差等進(jìn)行測(cè)量。本儀器的各種鏡筒還具有明暗場(chǎng)，微分干涉，金相，偏光等多種觀察功能。所以對(duì)極細(xì)微的間隙高低差，夾雜物、微米以下的突起、細(xì)微劃痕、以及金相組織進(jìn)行觀察
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