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半導(dǎo)體特殊材料氣體、高純/超高純載氣壓力調(diào)節(jié)器介紹

來源：秋山科技（東莞）有限公司   2024年03月29日 13:31  

半導(dǎo)體特殊材料氣體、高純/超高純載氣壓力調(diào)節(jié)器介紹


Excellent Mega系列EX-M-20、EX-M-100（電解拋光品）
一次壓力：20.0MPa以下/調(diào)整壓力0.1～1.0MPa、最大流量：50?、150?/min?空氣）
He泄漏值：5X10 -11 Pa·m3/秒以下



?EX-M-20
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?EX-M-100
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Mark II系列 EX-20mkⅡ-G1、G2/EX-100mkⅡ-G1、G2
一次壓力：20.0MPa以下/調(diào)整壓力0.1～1.0MPa、最大流量：50?、150?/min?空氣）
He泄漏值：1X10 -9/-8 Pa·m3/秒以下



?EX-20mkⅡ
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?EX-100mkⅡ
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TD系列EX-20-TD、EX-100-TD（適用于腐蝕性氣體，特殊內(nèi)涂層）
一次壓力：20.0MPa以下/調(diào)整壓力0.1～1.0MPa、最大流量：50?、150?/min?空氣）
He泄漏值：1X10 -9 Pa·m3/秒以下



?EX-20-TD
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?EX-100-TD
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優(yōu)秀 PM 系列 EX-20-PM、EX-100-PM（僅限面板安裝型號）
一次壓力：20.0MPa以下/調(diào)整壓力0.1～1.0MPa、最大流量：50?、150?/min?空氣）
He泄漏值：1X10 -9 Pa·m3/秒以下



?EX-20-PM
照片
?EX-100-PM
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Excellent Mega VC系列EX-M-20-VC（電解拋光品/主體連接部分VCR1/4加工）
一次壓力：20.0MPa以下/調(diào)整壓力0.1～1.0MPa、最大流量：50?/min?空氣）
He泄漏值：5X10 -11 Pa·m3/秒以下



?EX-M-20-VC
照片


Excellent Mark II/VC系列EX-20-VC（主體連接部分VCR1/4加工）
一次壓力：20.0MPa以下/調(diào)整壓力0.1～1.0MPa、最大流量：50?/min?空氣）
He泄漏值：1X10 -9 Pa·m3/秒以下



?EX-20-VC
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