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光刻烤膠機(jī)的技術(shù)介紹

來源:深圳市博大精科技實(shí)業(yè)有限公司   2024年05月29日 10:55  
  光刻烤膠機(jī)是一款緊湊且易于使用的光刻熱板。它用于光刻工藝的預(yù)烘烤,后烘烤和硬烘烤。該產(chǎn)品具有較高的烘烤速度,均勻性,較高的溫度控制精度和高度可重復(fù)的實(shí)驗(yàn)結(jié)果。烘烤控制設(shè)計(jì)用于預(yù)烘烤,后烘烤和硬烘烤,以進(jìn)行光蝕刻過程。
  光刻烤膠機(jī)的核心技術(shù)主要體現(xiàn)在其精確的光刻和烤膠工藝上:
  1、光刻工藝:利用光化學(xué)反應(yīng)將電路圖案精確地轉(zhuǎn)移到硅片上。通過高精度的光學(xué)系統(tǒng)和精密的機(jī)械結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)了對(duì)光刻過程的精確控制,從而保證了電路圖案的準(zhǔn)確性和一致性。
  2、烤膠工藝:將光刻膠固定在硅片上,形成穩(wěn)定的電路結(jié)構(gòu)。通過精確控制烤膠的溫度和時(shí)間,確保光刻膠能夠均勻、穩(wěn)定地附著在硅片上,從而提高產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性。
  在使用該設(shè)備時(shí)需要嚴(yán)格遵守操作規(guī)程,注意溫度和時(shí)間的控制,以及進(jìn)行定期的設(shè)備維護(hù),可以確保硅片上的感光膠得到處理效果,為后續(xù)的光刻工序打下堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。

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