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二合一超快SEM解決方案通過在FE槍和聚光透鏡之間引入脈沖發(fā)生器，并利用皮秒級射頻電激發(fā)電子束，從而實現了超高時間和空間分辨的掃描成像。此外，該解決方案通常還結合了飛秒激光泵浦樣品聯動技術，進一步增強了其性能。
核心特點：
百皮秒級射頻電激發(fā)電子束：通過使用脈沖發(fā)生器，能夠在皮秒級的時間內激發(fā)電子束，從而實現對樣品的超快表征。
飛秒激光泵浦樣品聯動：結合飛秒激光技術，實現了對樣品的快速、準確的聯動分析。
超高時間和空間分辨：由于采用了上述技術，二合一超快SEM解決方案能夠在保持原始掃描電鏡光束質量的同時，實現超高時間和空間分辨的掃描成像。
保持原始固有空間分辨率：在電激發(fā)下，該解決方案能夠保持SEM的原始固有空間分辨率，確保成像的清晰度和準確性。
二合一超快SEM解決方案在汽車、微電子、藥品和醫(yī)療器械等行業(yè)具有廣泛的應用前景。特別是在需要快速、準確地對樣品進行清潔度分析、成分分析和微結構表征的場合，該解決方案能夠顯著提高工作效率和準確性。
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