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sqp拉制硅單晶用石英坩堝介紹

來(lái)源:秋山科技(東莞)有限公司   2024年06月13日 13:51  

sqp拉制硅單晶用石英坩堝介紹


“SQC系列”硅單晶拉制石英坩堝是采用CZ法拉制硅單晶的坩堝。采用我們的方法,使用高純度二氧化硅原材料制造。

拉制硅單晶用石英坩堝

主要特點(diǎn)

  • 標(biāo)準(zhǔn)品種的內(nèi)層由合成石英玻璃制成。

  • 可制造從 18 英寸到 40 英寸的各種尺寸。

  • 在潔凈環(huán)境中進(jìn)行最終清洗和密封包裝

主要用途

  • 用于拉制硅單晶

尺寸表(典型值)

口徑外徑室壁厚度R形
直身部分R部分底部r
18英寸457.0±3.08.5±1.511.0±2.010.0±2.0第457章90
20英寸507.0±3.09.0±2.013.0±3.010.5±2.5507100
22”556.0±3.010.0±2.013.0±3.010.5±2.5第558章110
24”607.0±3.012.0±3.015.5±3.012.0±3.0610120
28英寸708.0±4.013.0±4.015.5±4.013.0±4.0708140
32英寸809.0±4.014.0±5.023.0±5.015.5±5.0810160
36英寸909.0±5.015.0±5.026.0±5.017.0±5.0914180



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