陰極發(fā)光是固體物質(zhì)的一種表面物理熒光現(xiàn)象，在掃描電鏡中，當(dāng)一束高能電子束轟擊固體樣品的表面時，入射電子與樣品發(fā)生作用，產(chǎn)生諸如二次電子、背散射電子、特征X射線、俄歇電子等信號，而對于某些特定材料，如礦物、氧化鋁、三/五族材料（GaAs，InGaN）、磷光劑、燃料及一些有機(jī)化合物等，入射電子會將材料的電子轟擊至導(dǎo)帶讓其處于激發(fā)態(tài)，受轟擊電子會快速回復(fù)至價帶，回復(fù)過程中產(chǎn)生的能量差就以可見光的形式釋放出來，即陰極發(fā)光，陰極發(fā)光是一種熒光，又稱陰極熒光，其發(fā)光波譜多數(shù)為可見光范疇，波長多數(shù)在400~760nm之間。陰極熒光的發(fā)生是由于物質(zhì)中有雜質(zhì)元素的存在或晶體結(jié)構(gòu)中如位錯、空位和偏離化學(xué)計量比、結(jié)晶體中的無序、晶格破壞等缺陷的存在。

利用專用陰極熒光探測器（CL探測器）采集陰極熒光（CL）數(shù)據(jù)，在地質(zhì)、光電、失效分析、陶瓷、玻璃及其他領(lǐng)域，揭示樣品中利用常規(guī)電子信號或X射線成像技術(shù)無法顯示的特性。將CL數(shù)據(jù)與形貌、晶體結(jié)構(gòu)和元素信息相關(guān)聯(lián)，可以更好地了解樣品的光子特性、組成、材料質(zhì)量或是歷史。

傳統(tǒng)CL探測器依賴樣品與物鏡之間的反光鏡，為了有效檢測熒光信號，反光鏡需要在大的（固定的）工作距離下精確對中。這種設(shè)計限制了掃描電鏡的視野寬度，也限制甚至阻止了電子和X射線的檢測，需要將CL探測器退出再次掃描樣品才能獲取此類信號。

賽默飛新型RGB CL探測器采用平面式設(shè)計，消除了反光鏡的諸多限制，與伸縮式背散射電子探測器類似，可在樣品和物鏡之間滑動。探測器面積大，無需進(jìn)行光學(xué)對中，且不影響視野寬度。CL探測器采集信號的同時，不影響二次電子（SE）、背散射電子（BSE）、X射線信號等的采集，這樣，對樣品掃描一次，就可將CL數(shù)據(jù)與SE、BSE和 EDS多重信號關(guān)聯(lián)起來。

RGB CL探測器集成在電鏡用戶界面中，電子束開始掃描即可獲取彩色圖像，助力多用戶實驗室，獲得CL數(shù)據(jù)，并與多種數(shù)據(jù)進(jìn)行無憂關(guān)聯(lián)。