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全自動(dòng)離子濺射儀是一種用于在掃描電鏡樣品制備、電極材料研究等領(lǐng)域中，通過(guò)磁控方式實(shí)現(xiàn)高真空環(huán)境下的精確鍍膜的設(shè)備。離子濺射儀為掃描電鏡用戶在制樣過(guò)程中提供了更廣泛的選擇，以便適用支持掃描電子顯微鏡所需的涂層要求。在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及人機(jī)界面方面更加注重人性，簡(jiǎn)單智能。
全自動(dòng)離子濺射儀全自動(dòng)操作，簡(jiǎn)單易用。該儀器非常適合用于鎢燈絲、臺(tái)式掃描電鏡等應(yīng)用。它具有以下功能：
(1) 濺射電流自動(dòng)調(diào)整：在設(shè)定了濺射電流后，系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)調(diào)節(jié)真空度，以達(dá)到設(shè)定的濺射電流。調(diào)整時(shí)間小于5秒，波動(dòng)范圍小于±5%。用戶無(wú)需按下“實(shí)驗(yàn)”鍵來(lái)調(diào)整濺射電流，也無(wú)需操作“進(jìn)氣閥”。
(2) 濺射時(shí)間自動(dòng)記憶：對(duì)于同類樣品，只需進(jìn)行一次設(shè)定即可。
(3) 參數(shù)改變自動(dòng)調(diào)整：在濺射過(guò)程中，用戶可以隨時(shí)調(diào)整濺射電流和濺射時(shí)長(zhǎng)。系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)計(jì)算疊加，無(wú)需終止濺射過(guò)程。
(4) 工作完成自動(dòng)放氣：當(dāng)濺射過(guò)程完成后，系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)放氣，方便用戶取出樣品。
(5) 樣品臺(tái)高度調(diào)節(jié)1秒完成：用戶可以通過(guò)簡(jiǎn)單的操作快速調(diào)節(jié)樣品臺(tái)的高度，節(jié)省時(shí)間和精力。
(6) 濺射過(guò)程可以利用曲線顯示，清晰直觀：用戶可以通過(guò)曲線圖來(lái)觀察濺射過(guò)程的變化，更加直觀地了解實(shí)驗(yàn)進(jìn)展情況。
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