日本現貨ULVAC愛發(fā)科WP-01傳感器真空規(guī)管

日本現貨ULVAC愛發(fā)科WP-01傳感器真空規(guī)管

真空泵(低?中真空)

ULVAC的真空泵是以ULVAC在真空領域豐富的技術和經驗為基礎開發(fā)的。除了油回轉真空泵以外，干泵也有羅茨型、膜片型和活塞型等。我們有適用于所有領域·條件·用途的真空泵系列產品。

特點

• 通過對轉子軸和氣缸等主要部件進行特殊涂層處理，以防腐蝕。

• 采用ULVAC設計的轉子軸，實現高性能的排粉。

• 從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運行。

• 用途

• 半導體和電子器件制造設備相關的真空排氣系統(tǒng)，如刻蝕設備、去膠設備、等離子清洗設備等。

• 真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng)，如燒結爐、滲碳爐等。

• 鋰電池制造設備真空排氣系統(tǒng)，如電極干燥設備、脫泡設備、注液設備等。

• 醫(yī)療食品設備相關的真空排氣系統(tǒng)，如冷凍干燥設備、真空干燥設備等。