臺式電鏡SEM,即掃描電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope),是利用電子束掃描樣品表面,通過收集二次電子、背散射電子等信號來獲取樣品表面形貌、組成和結構信息的顯微分析儀器,具有高分辨率、大景深、立體感強等特點,廣泛應用于材料科學、生物學、地質學、冶金學等領域。
基本工作原理是:電子槍發(fā)射出高速電子束,經(jīng)過電磁透鏡系統(tǒng)聚焦成直徑為納米級別的細束;電子束在掃描線圈的作用下按照一定規(guī)律掃描樣品表面,與樣品相互作用產(chǎn)生二次電子、背散射電子等信號;這些信號被探測器收集并轉換成電信號,經(jīng)過放大、處理后形成圖像。
臺式電鏡SEM的主要作用有以下幾點:
1.表面形貌觀察:可以清晰地觀察到樣品表面的微觀形貌,如顆粒形狀、大小、分布等。通過調整放大倍數(shù),可以觀察到從納米到毫米級別的形貌特征。這對于研究材料的微觀結構、性能以及制備工藝具有重要意義。
2.成分分析:通常配備有能譜儀(Energy Dispersive Spectrometer,EDS)等附件,可以在觀察形貌的同時對樣品進行元素分析。通過測量樣品發(fā)出的X射線能量,可以確定樣品中的元素種類及其含量。這對于研究材料的化學成分、相組成以及元素分布具有重要意義。
3.斷面觀察:可以對樣品的斷面進行觀察,了解材料的層狀結構、晶粒尺寸、缺陷等信息。這對于研究材料的斷裂機制、界面特性以及生長過程具有重要意義。
4.表面粗糙度測量:可以通過對樣品表面的高度信息進行測量,得到表面粗糙度的定量數(shù)據(jù)。這對于評價材料的摩擦性能、粘附性能以及涂層質量具有重要意義。
5.三維重構:通過對圖像進行處理,可以重建出樣品的三維形貌,進一步了解材料的微觀結構。這對于研究復雜體系的微觀結構、動態(tài)過程以及功能特性具有重要意義。
6、納米尺度研究:具有較高的分辨率,可以實現(xiàn)納米尺度的觀察。這對于研究納米材料、納米器件以及納米技術的發(fā)展具有重要意義。

免責聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源:化工儀器網(wǎng)”的所有作品,均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權或有權使用的作品,未經(jīng)本網(wǎng)授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權使用作品的,應在授權范圍內使用,并注明“來源:化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者,本網(wǎng)將追究其相關法律責任。
- 本網(wǎng)轉載并注明自其他來源(非化工儀器網(wǎng))的作品,目的在于傳遞更多信息,并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負責,不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉載時,必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源,并自負版權等法律責任。
- 如涉及作品內容、版權等問題,請在作品發(fā)表之日起一周內與本網(wǎng)聯(lián)系,否則視為放棄相關權利。