1. 壓電探測(cè)站主體框架（1 個(gè)）

壓電探針臺(tái)的主體框架用于安裝壓電衰減器支架和顯微機(jī)械手、三目顯微鏡、顯微機(jī)械手和底板。底板有足夠的面積，可同時(shí)容納至少四個(gè)微型機(jī)械手。底板和真空吸盤/熱吸盤的布置便于探針針尖落在真空吸盤/熱吸盤上的樣品上。底板與帶磁性底座的微機(jī)械手兼容。主體框架允許真空吸盤/熱吸盤平臺(tái)在 X-YZ 方向自由移動(dòng)。底座結(jié)構(gòu)堅(jiān)固，帶有 M6 錐孔，可在桌面上操作。

                                                                                            2. 卡盤

卡盤有一個(gè) X-YZ 平移平臺(tái)，XYZ 行程為 50 mm x 50 mm x 10 mm?？ūP與底座電氣和熱隔離。卡盤的漏電流不超過 100 pA。本產(chǎn)品提供兩種卡盤，一種是真空卡盤，另一種是熱卡盤。

a. 真空吸盤（1 個(gè)）

真空吸盤直徑 100 毫米，表面鍍金。真空吸盤可通過真空泵將樣品牢牢固定在吸盤上。

b. 熱卡盤（1 個(gè)）

溫度范圍：室溫至 300°C，分辨率 ≤ ±1°C。

直徑：100 毫米

熱卡盤表面鍍金。提供帶數(shù)字顯示的數(shù)字溫度控制器，以及所有必要的電纜和附件。

熱卡盤可在設(shè)定點(diǎn)保持溫度 ~ 6 小時(shí)，溫度穩(wěn)定性 ≤ ±1°C。

                                                                         3. 帶微型機(jī)械手的壓電衰減器支架（1 個(gè)）

微機(jī)械手的 XYZ 行程為 10 × 10 × 10 毫米，分辨率為 10 微米。此外，微機(jī)械手應(yīng)能用螺釘擰緊機(jī)械固定在壓板上。由絕緣材料（Peek）制成的剛性絕緣桿通過 M6 螺紋孔與衰減器相連。

系統(tǒng)提供兩種類型的硬質(zhì)絕緣桿（Peek 制）。

a) 在類型 1 中，硬質(zhì)絕緣桿（Peek 制成）的一端有螺紋，適合與衰減器的 M6 插槽（10 毫米深）連接。絕緣桿的另一端有一個(gè)插槽，用于使用金屬螺釘和適當(dāng)?shù)碾娋€固定帶彈簧的鍍金 pogo 接頭，以便與 SMU 進(jìn)行電氣連接。系統(tǒng)可提供直徑為 1 毫米（10 個(gè)）、1.5 毫米（10 個(gè)）和 2 毫米（10 個(gè)）的圓形扁平 Pogo 吸頭。系統(tǒng)還提供 10 根 Peek 材質(zhì)的絕緣桿。

b) 在類型 2 中，絕緣桿（由 Peek 制成）是彈簧加載的，彈簧加載的剛性絕緣桿（由 Peek 制成）的一端有螺紋，適合與衰減器的 M6 插槽（深度為 10 毫米）連接。但是，絕緣桿的另一端具有不同直徑的圓形平面和拋光表面，直徑分別為 1 毫米（10 個(gè)）、1.5 毫米（10 個(gè)）和 2 毫米（10 個(gè)）。

                                                                            4. 帶攝像頭的三目顯微鏡（1 臺(tái)）

三目顯微鏡具有旋轉(zhuǎn)和平移功能，可觀察工作區(qū)域，并可輕松將探針置于樣品表面。一個(gè)基于視窗的顯示系統(tǒng)配有合適的軟件，用于查看和保存樣品圖像。顯微鏡具有以下規(guī)格：

光學(xué)系統(tǒng) 無限校正（200 毫米管鏡頭）

觀察方法 明視野

反射照明（同軸和成角）

照明系統(tǒng) 高亮度白色 LED

鼻托 旋轉(zhuǎn)式，四重，帶正向精確單擊止動(dòng)裝置

觀察頭 Siedentopf 三目觀察頭，30 度傾斜，48 - 75 mm IP 調(diào)節(jié)

目鏡 寬視場(chǎng)目鏡，10 倍，F(xiàn)N = 20 毫米，度數(shù)可調(diào)。

手動(dòng)調(diào)焦

物鏡

物鏡 Plano apo 5X

NA 0.18

視場(chǎng)角 40 毫米（目鏡視場(chǎng)角 = 4 毫米，CCD 視場(chǎng)角 = 1.31 x 0.984 毫米）

目鏡放大 50 倍，相機(jī)放大 5 倍

相機(jī)規(guī)格

傳感器尺寸：1/2 .5 英寸彩色 CMOS

有源成像器尺寸：6 .55 毫米（高）X 4.92 毫米（寬）

最大分辨率：2048 x 1536（3 Mp）

每秒拍攝速度：10 FPS（全分辨率

像素尺寸：3 .2 x 3.2 um

掃描類型 ： 逐行掃描

快門類型 電子滾動(dòng)快門

曝光時(shí)間：0 .047 毫秒 - 3000 毫秒

數(shù)據(jù)格式：8 位 RAW、24 位 BMP

靈敏度 ： > 1.0 V / Lux - sec (550 nm)

光譜范圍：380 - 650 納米

信噪比：43 dB

寬動(dòng)態(tài)范圍：61 dB

清晰度 ： > 850 線

曝光模式 ： 自動(dòng)/手動(dòng)/區(qū)域

白平衡：手動(dòng) / 一次性 / 區(qū)域 / 自動(dòng)

圖像格式 ： raw / bmp / jpg / png

                                                                               5. 帶探針頭的微型機(jī)械手（2 個(gè)）

微機(jī)械手用于在樣品上精確移動(dòng)和放置探針頭，以進(jìn)行電氣測(cè)量。在兩臺(tái)微機(jī)械手中，一臺(tái)為左手操作，另一臺(tái)為右手操作，便于在樣品上移動(dòng)探針頭：

1) XYZ 獨(dú)立行程：10 x 10 x 10 毫米

2) 分辨率 - 10 μm；泄漏電流 - 100 pA

3) 探針針尖支架通過螺釘鎖牢牢固定在微機(jī)械手上。探針頭支架有一個(gè)合適的裝置，可將探針頭牢固地固定在上面。探針頭支架與壓電探針站的微動(dòng)器、底板和底座電氣隔離。探針頭支架可進(jìn)行低直流和交流（頻率高達(dá) 1 MHz 或更高）電流測(cè)量。

4) 鍍金鎢針尖（數(shù)量 - 10 個(gè)），針尖直徑：50 μm，與微機(jī)械手的報(bào)價(jià)針尖座兼容，裝在盒子/包里。

5) 微機(jī)械手可將探針與光學(xué)測(cè)量儀器（如光源測(cè)量單元（SMU）和 C-V 表）進(jìn)行電氣連接。