規(guī)格

手動微型機械手：2 個

軸：4 （XYZ 和傾斜）

X 行程：25 毫米

Y 向行程：25 毫米

Z 行程：10 毫米

傾斜：+/- 3 度

帶BNC 輸出的測頭支架

45 度非金屬探頭支架

90 度非金屬探頭支架

磁性底座

                                                                                                   附文

材料： 黑色噴漆 MS

輸出端口：BNC 連接器（4 個）

N2 進氣口和出氣口：各 1 個

相機 USB 接口：1 個

電源插座和開關： 帶鉸鏈和鎖的門

顯微鏡照明控制旋鈕。

濕度傳感器

此蓋并非密封。會有輕微泄漏。

在零度以下時，客戶需要在外殼中注入 N2 以減少基片支架上的結冰。

                                                                                                  選配

1. LWD Plan Apo 10 倍顯微鏡物鏡

NA: 0 .30

工作距離：31 毫米

目鏡視場角：2 毫米

相機視場角：0 .57 毫米 x 0.428 毫米

2. LWD Plan Apo 20X 顯微鏡物鏡

NA: 0 .35

工作距離：29 毫米

目鏡視場角：1 毫米

照相機視場角：0 .285 毫米 x 0.214 毫米

3. LWD Plan Apo 50X 顯微鏡物鏡

NA: 0 .50

工作距離：17 毫米

目鏡視場角：0 .4 毫米

照相機視場角：0 .114 毫米 x 0.0856 毫米

4. 探頭： 5 個

探頭直徑：50 毫米

材料：鎢

5. 熱卡盤： 1 個

卡盤直徑：100 毫米

溫度范圍：RT - 200o C

溫度精度：+/- 10o C

熱傳感器

溫度控制軟件

磁性 SS 顯微機械手壓板、支撐架、底板、顯微鏡手動 XYZ 平臺：1 套

壓板：磁性 SS

壓板支撐架：高度 可調

底板：黑色 陽極氧化鋁

顯微鏡 XYZ 平臺

XYZ 行程：100 毫米 x 100 毫米 x 100 毫米

導軌：精密 滾珠滑軌

驅動：精密 導螺桿

導螺桿：1 mm 間距

導螺桿類型 ： 地面

定位精度：10 微米

結構：黑色 陽極氧化鋁

帶真空吸盤和冷卻吸盤的 XYZ 手動樣品架：1 套

頂板直徑：100 毫米

X 軸：25 mm 行程

Y 軸：10 mm 行程

Z 軸：10 毫米行程

XYZ 分辨率：10 微米

冷卻卡盤和外殼

溫度范圍：RT 至 -20°C

溫度精度：+/- 1°C

軟件控制

探針臺 三目顯微鏡及其支架：1 套

    光學系統 無限校正

觀察方法 明視野

反射照明（同軸和成角度）

照明系統 高亮度白光 LED

旋轉鼻托，四重，帶正向精確點擊止動裝置

觀察頭 Siedentopf 三目觀察頭，30 度，48 - 75 mm IP 調節(jié)

目鏡 10 倍寬視場目鏡，FN = 20 毫米，度數可調

手動調焦

顯微鏡物鏡

    長工作距離平面變色

放大倍率 5 X

數值孔徑 0.14

工作距離 40 毫米

目鏡視場角 4 毫米

FOV 相機 1.14 mm x 0.856 mm

相機規(guī)格

光學格式 1/2.5" CMOS

有源成像器尺寸 5.70 毫米 x 4.28 毫米，對角線 7.13 毫米

有效像素 2592 x 1944（500 萬像素）

像素尺寸 2.2 x 2.2 um

彩色濾光片陣列 RGB 拜爾模式

快門類型 電子滾動快門 (ERS)

幀頻 全分辨率 - 高達 7 幀/秒，VGA - 高達 26.7 幀/秒

ADC 分辨率 12 位，片載

像素動態(tài)范圍 70.1 dB

工作溫度 -30oC 至 +70oC

靈敏度 1.76V / lux - sec (550nm)

全分辨率 7 fps 時功耗 381 mW

接口 USB 2.0

圖像采集軟件