透射電鏡液體電化學(xué)原位系統(tǒng)使用的技術(shù)有哪些？

來源：廈門超新芯科技有限公司 2024年12月16日 17:15

　　透射電鏡液體電化學(xué)原位系統(tǒng)是一種集成了透射電鏡(TEM)技術(shù)與液體電化學(xué)測試環(huán)境的設(shè)備。

　　本公司提供的透射電鏡液體電化學(xué)原位系統(tǒng)的技術(shù)有：

　　1、采用納流控技術(shù)，通過壓電微控系統(tǒng)進行流體微分控制，實現(xiàn)納升級微量流體輸送，原位納流控系統(tǒng)及樣品桿中冗余的液體量僅有微升級別，有效保證電鏡安全。

　　2、采用高分子膜面接觸密封技術(shù)，相比于o圈密封，增大了密封接觸面積，有效減小滲漏風(fēng)險。

　　3、采用超高溫鍍膜技術(shù)，芯片視窗區(qū)域的氮化硅膜具有耐高溫低應(yīng)力耐壓耐腐蝕耐輻照等優(yōu)點。

　　4、多場耦合技術(shù)，可在液相環(huán)境中實現(xiàn)光、電、熱、流體多場耦合。

　　該系統(tǒng)的芯片封裝采用鍵合內(nèi)封以及環(huán)氧樹脂外封雙保險方式，使芯片間的夾層最薄僅約100~200nm，超薄夾層大幅減少對電子束的干擾，可清晰觀察樣品的原子排列情況，液相環(huán)境可實現(xiàn)原子級分辨。

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